[实用新型]一种硅晶圆精抛液生产用搅拌装置有效

专利信息
申请号: 202220734545.5 申请日: 2022-03-31
公开(公告)号: CN216935675U 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 查明怀;夏旭阳;方基国 申请(专利权)人: 铜陵辉平环保科技有限公司
主分类号: B01F27/90 分类号: B01F27/90;B01F27/2322;B01F27/191;B01F21/10;B01F35/12;B01F101/27
代理公司: 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 代理人: 张万兵
地址: 244000 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅晶圆精抛液 生产 搅拌 装置
【权利要求书】:

1.一种硅晶圆精抛液生产用搅拌装置,包括罐体(1),其特征在于:所述罐体(1)顶部固定连接有齿轮仓(20),所述齿轮仓(20)顶部中间位置固定连接有电机(18),所述电机(18)底部贯穿设置有第一搅拌杆(3)且第一搅拌杆(3)另一端与杆座(7)转动连接,所述第一搅拌杆(3)外径顶部固定连接有第一齿轮(17),所述第一齿轮(17)左右两侧均转动连接有第二齿轮(19),所述第二齿轮(19)底部中间位置均固定连接有第二搅拌杆(2),所述罐体(1)内底部固定连接有滑板(8),所述滑板(8)顶部中间位置贯穿设置有杆座(7)且杆座(7)位于刮板(5)底部,所述罐体(1)右侧底部贯穿设置有出料口(4),所述罐体(1)左侧顶部贯穿设置有均匀分布的溢流管(15),所述罐体(1)左侧中间靠下位置固定连接有溢流箱(12)且溢流箱(12)顶部贯穿有溢流管(15),所述溢流箱(12)顶部左侧贯穿设置有水泵(13),所述水泵(13)顶部贯穿设置有回流管(14)且回流管(14)另一端贯穿罐体(1)。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆精抛液生产用搅拌装置,其特征在于:所述第一搅拌杆(3)上固定连接有均匀分布的第一搅拌叶(9)。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶圆精抛液生产用搅拌装置,其特征在于:所述第二搅拌杆(2)上固定连接有均匀分布的第二搅拌叶(6)。

4.根据权利要求1所述的一种硅晶圆精抛液生产用搅拌装置,其特征在于:所述第一搅拌杆(3)外径底部固定连接有刮板(5)且刮板(5)在罐体(1)内壁上滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅晶圆精抛液生产用搅拌装置,其特征在于:所述罐体(1)底部固定连接有均匀分布的罐体支撑脚(10)。

6.根据权利要求1所述的一种硅晶圆精抛液生产用搅拌装置,其特征在于:所述罐体(1)左侧顶部贯穿设置有入料口(16)。

7.根据权利要求1所述的一种硅晶圆精抛液生产用搅拌装置,其特征在于:所述出料口(4)上设置有阀门(21)。

8.根据权利要求1所述的一种硅晶圆精抛液生产用搅拌装置,其特征在于:所述溢流箱(12)底部左侧固定连接有溢流箱支撑脚(11)。

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