[实用新型]一种靶材配件检测装置

说明书

本实用新型提供了一种靶材配件检测装置，所述靶材配件检测装置包括外观检具和内孔检具，所述外观检具包括开设有检测通孔的检测块；所述内孔检具包括检测台以及设置于检测台上的至少一个检测柱，所述检测柱上开设有检测孔；靶材嵌入检测通孔内进行外观检测，再将套设有检测块的靶材放置于检测台上，靶材的内孔与检测柱匹配对应，靶材的内孔中凸起插入所述检测孔中。本实用新型通过设置外观检具和内孔检具对靶材配件的外观以及内孔进行检测，仅通过将检具与靶材配件相互嵌合，具有检测效率高、检测准确等特点。

技术领域

本实用新型属于靶材检测技术领域，涉及一种靶材配件检测装置。

背景技术

随着半导体行业的快速发展，镀膜材料作为半导体电子器件制造的重要材料，其需求量也日益增加，而镀膜材料的主要制备方法为物理气相沉积法，其重要的制备原料为靶材，因此靶材的高效利用是制备高性能薄膜材料的重要影响因素。

在半导体镀膜生产过程中，为了提高镀膜的均匀性，通常会使用一些环件结构来配合靶材一起使用，而环件结构的固定与安装对靶材的后续使用具有重要的影响，需要采用相应的安装配件将其固定；但目前使用的环件安装结构受环件尺寸的影响较大，一旦环件尺寸变化，可能会造成环件与安装结构本体不匹配，进而影响靶材环件的稳定性。

当配件尺寸不正确，则无法将产品正常应用于实际工艺中，产品的孔位尺寸正确与否关系产品的安装问题，原有的检测方法是使用三坐标测量机检测孔位尺寸，三坐标测量是目前广泛应用于机械制造行业和电子工业中的检测和质量控制的方法，采用三坐标测量机检测螺纹孔角度和孔为尺寸。但采用三坐标测量机检测速度较慢，对于数量较多的产品的检测，其工作效率较低。

CN108895963A公开了一种靶材定位装置及三坐标定位设备。一种靶材定位装置包括底座、第一定位组和激光器。底座被配置为固定在工作台上；第一定位组均设置在底座远离工作台的一侧；第一定位组包括两个第一立柱，两个第一立柱具备第一预设距离，两个第一立柱均被配置为抵接在靶材的侧边；靶材的侧面上设置有一个定位槽；激光器被配置为发出激光以照射到第一平面，第一平面与工作台平行且穿过定位槽。

但是，目前三坐标检测技术测量产品时，需要人为建立坐标系，存在检测速度慢和效率低的问题，因此，如何提供一种靶材配件检测装置，满足快速检测的效果，成为目前迫切需要解决的技术问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种靶材配件检测装置，通过设置外观检具和内孔检具对靶材配件的外观以及内孔进行检测，仅通过将检具与靶材配件相互嵌合，具有检测效率高、检测准确等特点。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种靶材配件检测装置，所述靶材配件检测装置包括外观检具和内孔检具，所述外观检具包括开设有检测通孔的检测块。

所述内孔检具包括检测台以及设置于检测台上的至少一个检测柱，所述检测柱上开设有检测孔。

靶材嵌入检测通孔内进行外观检测，再将套设有检测块的靶材放置于检测台上，靶材的内孔与检测柱匹配对应，靶材的内孔中凸起插入所述检测孔中。

本实用新型通过设置外观检具和内孔检具，对靶材配件的外观以及内孔情况进行检测，检测过程中，将靶材配件放置在外观检具内，观察靶材配件的外观匹配情况，进一步地，再将配置有外观检具的靶材配件放置到检测台的检测柱上，观察内孔的与检测柱的嵌套情况，再结合外观检具进行观察，保证靶材配件能够与外观检具和内孔检具嵌合稳定，从而实现快速检测的目的，具有检测效率高和准确度高等特点。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述靶材包括柱状主体，所述柱状主体包括顶盖，所述柱状主体沿中心轴线开设有内孔，所述内孔的内部设置有凸起。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述检测柱在检测台上线性间隔排布。