[实用新型]多级互联MO源供应装置

说明书

本实用新型公开了一种多级互联MO源供应装置。所述多级互联MO源供应装置包括：MO源容器，所述MO源容器内部具有一收容空间，所述收容空间内设置有多个第一隔板，多个所述第一隔板将所述收容空间分隔为多个收容腔室，所述第一隔板上还设置有可供载气通过的第一透气结构，相邻两个所述收容腔室能够经所述第一透气结构相互连通，所述MO源容器上还设置有多个加料口；第一导气组件和第二导气组件，所述第一导气组件、第二导气组件分别与选定的两个收容腔室相连通。本实用新型实施例提供了一种多级互联MO源供应装置，延长了载气和固态MO源的接触时间，增大了载气与固态MO源的接触面积，提高了固态MO源的蒸气压稳定性。

技术领域

本实用新型特别涉及一种多级互联MO源供应装置，属于MO源封装容器技术领域。

背景技术

金属有机化合物(MO源)是金属有机化学气相沉积(MOCVD)等技术外延生长光电子材料的重要原料，MO源材料的质量和稳定性对外延生长质量影响是一个不可忽视的重要因素，尤其当使用固态MO源时，随着外延生长的进行载气与固态源的接触面积减少，同时沟流现象加剧，造成固态源的饱和蒸气压不稳定，另外，载气携带固态源至传送系统中难以被载气气流接近的区域，致使反应室中流入的固态源持续稳定性差，特别在使用末期更加难以控制，致使外延层中组分不均匀，影响外延生长工艺的稳定性，降低外延生长质量，导致更换源周期减短，造成源浪费，降低机台生长镓动率。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种多级互联MO源供应装置，以克服现有技术中的不足。

为实现前述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案包括：

本实用新型实施例提供了一种多级互联MO源供应装置，包括：

MO源容器，所述MO源容器内部具有一收容空间，所述收容空间内设置有多个第一隔板，多个所述第一隔板将所述收容空间分隔为多个收容腔室，并且，所述第一隔板上还设置有可供载气通过的第一透气结构，相邻两个所述收容腔室能够经所述第一透气结构相互连通，以及，所述MO源容器上还设置有多个加料口，每一所述加料口与一个所述收容腔室对应并连通；

第一导气组件和第二导气组件，所述第一导气组件、第二导气组件分别与选定的两个收容腔室相连通。

在一较为具体的实施方案中，多个所述第一隔板沿第一方向依次间隔设置，相邻两个所述第一隔板上的第一透气结构于所述第一方向上交错设置，其中，所述第一方向为由第一导气组件指向第二导气组件的方向或者MO源容器的宽度方向。

在一较为具体的实施方案中，所述第一透气结构包括设置在所述第一隔板上的多个网孔，所述网孔的孔径为5-200μm。

在一较为具体的实施方案中，所述第一隔板包括沿自身长度方向依次设置的实体部和网孔部，所述网孔部设置有多个所述的网孔，其中，所述网孔部的长度在3mm以内。

在一较为具体的实施方案中，所述第一隔板的数量为奇数。

在一较为具体的实施方案中，至少一个所述收容腔室内还设置有第二隔板，所述第二隔板设置在载气于所述收容腔室内的输送路径上，且所述第二隔板上还设置有可供载气通过的第二透气结构。

在一较为具体的实施方案中，所述第二透气结构包括设置在所述第二隔板上的多个网孔，所述网孔的孔径为5-200μm。

在一较为具体的实施方案中，所述第二隔板与所述第一隔板呈角度设置。

在一较为具体的实施方案中，所述第二隔板和第一隔板的总数量为奇数或偶数。

在一较为具体的实施方案中，与所述第一导气组件连接的收容腔室位于载气输送路径的最上游，与所述第二导气组件连接的收容腔室位于载气输送路径的最下游。