[实用新型]一种声电转换结构、麦克风结构及电子设备

权利要求书

1.一种声电转换结构，其特征在于，所述声电转换结构(1000)包括衬底(100)以及设置在所述衬底(100)上的振膜(200)，所述衬底(100)上设有在厚度方向上贯通所述衬底(100)的背腔(101)；

其中，所述声电转换结构(1000)还包括用于改变从所述背腔(101)传入的声波的传导方向的声波止挡结构(10)，所述声波止挡结构(10)包括主体部(11)和支撑部(12)，所述主体部(11)位于所述背腔(101)中，并通过所述支撑部(12)与所述背腔(101)的侧壁(102)固定连接。

2.如权利要求1所述的声电转换结构，其特征在于，所述主体部(11)位于所述背腔(101)的中部，并且具有靠近所述振膜(200)的第一面(11A)以及远离所述振膜(200)的第二面(11B)，其中，所述第二面(11B)的最大宽度大于所述第一面(11A)的最大宽度。

3.如权利要求2所述的声电转换结构，其特征在于，所述主体部(11)的横截面为圆形，并且所述主体部(11)的纵剖面为梯形。

4.如权利要求2所述的声电转换结构，其特征在于，

沿垂直于所述振膜(200)的方向上，所述主体部(11)的所述第一面(11A)与所述振膜(200)之间具有预设的间隙。

5.如权利要求2所述的声电转换结构，其特征在于，

所述支撑部(12)包括至少一根横梁(121)，所述主体部(11)通过所述至少一根横梁(121)与所述背腔(101)的侧壁(102)固定连接。

6.如权利要求5所述的声电转换结构，其特征在于，

在从所述主体部(11)的所述第二面(11B)指向所述主体部(11)的所述第一面(11A)的方向上，所述主体部(11)的横截面积以及所述横梁(121)的垂直于所述横梁(121)高度方向的截面宽度逐渐减小；其中，所述横梁(121)高度方向与所述主体部(11)的所述第二面(11B)指向所述主体部(11)的所述第一面(11A)的方向相同。

7.如权利要求6所述的声电转换结构，其特征在于，

距离所述主体部(11)的所述第一面(11A)的20um～30um处，所述横梁的截面宽度为0，并且所述主体部(11)的横截面积的最大宽度是所述主体部(11)的所述第二面(11B)的最大宽度的0.5～0.7倍。

8.如权利要求5所述的声电转换结构，其特征在于，所述至少一根横梁(121)包括四根横梁，并且所述四根横梁形成十字形。

9.如权利要求5所述的声电转换结构，其特征在于，所述至少一根横梁(121)包括八根横梁，并且所述八根横梁形成米字形。

10.如权利要求5所述的声电转换结构，其特征在于，所述主体部(11)上设置有在厚度方向上贯通所述主体部(11)的至少一个通孔(13)，和/或所述至少一根横梁(121)上设置有在高度方向上贯通所述至少一根横梁(121)的至少一个通孔(13)。

11.如权利要求5所述的声电转换结构，其特征在于，

所述支撑部(12)还包括至少一个环形支持部(14)，所述至少一个环形支持部(14)与所述至少一根横梁(121)固定连接。

12.如权利要求1-11中任一项所述的声电转换结构，其特征在于，所述声电转换结构(1000)还包括背极板(300)，所述背极板(300)固定连接在所述振膜(200)远离所述衬底(100)的一侧并且所述背极板(300)与所述振膜(200)之间具有预设的间隙以形成可变电容，其中，所述背极板(300)设置有第一电极(501)和第二电极(502)，所述第一电极(501)与所述背极板(300)电连接，所述第二电极(502)与所述振膜(200)电连接，以在所述可变电容和外部信号处理部件之间传输电信号。