[实用新型]长晶炉

权利要求书

1.一种长晶炉，其特征在于，包括坩埚(1)、籽晶杆(2)、加热结构(3)、第一冷却结构(4)，所述籽晶杆(2)的一端伸入所述坩埚(1)内，所述加热结构(3)和所述第一冷却结构(4)均位于所述坩埚(1)的外部，所述第一冷却结构(4)位于所述坩埚(1)的上方，所述加热结构(3)位于所述第一冷却结构(4)的下方。

2.根据权利要求1所述的长晶炉，其特征在于，所述第一冷却结构(4)为第一冷却管，所述第一冷却管包括内侧冷却管(41)和位于所述内侧冷却管(41)外侧的外侧冷却管(42)，所述内侧冷却管(41)和所述外侧冷却管(42)均用于供冷媒流过。

3.根据权利要求2所述的长晶炉，其特征在于，至少部分所述内侧冷却管(41)围绕所述籽晶杆(2)盘绕成第一涡旋盘管(411)。

4.根据权利要求3所述的长晶炉，其特征在于，所述外侧冷却管(42)环绕所述内侧冷却管(41)设置，所述外侧冷却管(42)包括沿上下方向延伸的多个竖直段(421)、顶部折弯段(422)以及底部折弯段(423)，多个所述竖直段(421)围绕所述内侧冷却管(41)间隔设置，每个所述竖直段(421)的顶部与其相邻的一个竖直段(421)的顶部通过所述顶部折弯段(422)连接，每个所述竖直段(421)的底部与其相邻的另一个竖直段(421)的底部通过所述底部折弯段(423)连接。

5.根据权利要求1所述的长晶炉，其特征在于，所述长晶炉(100)还包括位于所述坩埚(1)外部的第二冷却结构(5)，所述第二冷却结构(5)位于所述坩埚(1)的下方，所述加热结构(3)位于所述第二冷却结构(5)的上方。

6.根据权利要求5所述的长晶炉，其特征在于，所述坩埚(1)的下方设置有支撑柱(11)，所述第二冷却结构(5)为第二冷却管，所述第二冷却管用于供冷媒流过，至少部分所述第二冷却管围绕所述支撑柱(11)盘绕成第二涡旋盘管。

7.根据权利要求5所述的长晶炉，其特征在于，所述长晶炉(100)还包括顶部隔热屏(6)、侧部隔热屏(7)和底部隔热屏(8)，所述顶部隔热屏(6)位于所述第一冷却结构(4)与所述坩埚(1)之间，所述侧部隔热屏(7)位于所述加热结构(3)背离所述坩埚(1)的一侧，所述底部隔热屏(8)位于所述加热结构(3)与所述第二冷却结构(5)之间。

8.根据权利要求7所述的长晶炉，其特征在于，所述顶部隔热屏(6)和所述底部隔热屏(8)均包括沿上下方向堆叠的多个隔热板。

9.根据权利要求5所述的长晶炉，其特征在于，所述长晶炉(100)还包括外壳(9)，所述坩埚(1)、所述加热结构(3)、所述第一冷却结构(4)以及所述第二冷却结构(5)均设置在所述外壳(9)内，所述籽晶杆(2)远离所述坩埚(1)的一端向外伸出于所述外壳(9)，所述第一冷却结构(4)与所述外壳(9)的顶部连接，所述第二冷却结构(5)与所述外壳(9)的底部连接。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的长晶炉，其特征在于，所述加热结构(3)包括环状加热体(31)、与所述环状加热体(31)的底部连接的底部加热体(32)以及加热电极(33)，所述环状加热体(31)沿所述坩埚(1)的周向包围所述坩埚(1)，所述底部加热体(32)位于所述坩埚(1)的下方，所述加热电极(33)与所述环状加热体(31)连接。