[实用新型]一种用于带钢加工的罩式退火炉

说明书

本实用新型涉及退火炉技术领域，尤其涉及一种用于带钢加工的罩式退火炉。其技术方案包括：平台和气罐，所述平台顶部中间安装有支撑台，所述支撑台内部中间安装有旋转轴，所述旋转轴底部安装有齿轮，所述平台顶部位于齿轮一侧安装有电机A，所述电机A输出轴位于齿轮前表面安装有蜗杆蜗轮，所述旋转轴顶部位于支撑台上表面安装有旋转座，所述支撑台顶部靠近外表面位置处安装有外罩。本实用新型解决了现有装置钢带原料多采用固定放置，无法对其旋转，原料受热均匀度较差，原料退火均匀度不佳，且无法对保护气进行循环加热，保护气升温效率较低，钢带退火效率不佳的问题，提高了钢带的受热均匀度，进而提高了钢带的退火均匀度。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种用于带钢加工的罩式退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

经过海量检索，发现现有技术中的退火炉的如公开号为CN109536679A公开的一种罩式退火炉，使用时，利用风冷管道将冷风输入风冷空腔中，冷风通过上冷风口吹向铜管卷的上表面，冷风通过中冷风口吹向铜管卷轴心处，冷风通过铜管管身之间的空隙向外流动，从而带走铜管上的热量，提升位于铜管卷内部的铜管管身上的热量传递过程，从而提升了铜管卷降温的均匀性，结构简单，使得出料时，铜管卷内部的温度能够更低，避免了铜管卷出料以后由于内部铜管温度高而与含氧的空气接触发生氧化的弊端。

现有退火炉，钢带原料多采用固定放置，无法对其旋转，原料受热均匀度较差，原料退火均匀度不佳，且无法对保护气进行循环加热，保护气升温效率较低，钢带退火效率不佳，为此，我们提出一种用于带钢加工的罩式退火炉。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于带钢加工的罩式退火炉，具备退火均匀度高的优点，解决了现有装置钢带原料多采用固定放置，无法对其旋转，原料受热均匀度较差，原料退火均匀度不佳，且无法对保护气进行循环加热，保护气升温效率较低，钢带退火效率不佳的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于带钢加工的罩式退火炉，包括平台和气罐，其中所述平台顶部中间安装有支撑台，所述支撑台内部中间安装有旋转轴，所述旋转轴底部安装有齿轮，所述平台顶部位于齿轮一侧安装有电机A，所述电机A输出轴位于齿轮前表面安装有蜗杆蜗轮，所述旋转轴顶部位于支撑台上表面安装有旋转座，所述支撑台顶部靠近外表面位置处安装有外罩，所述支撑台顶部位于外罩内表面安装有内罩，所述旋转座顶部中间安装有钢带，所述平台顶部一侧安装有循环风机，所述循环风机输入端通过抽气管连接于内罩内，所述循环风机输出端通过输气管连接于内罩内，所述输气管外表面靠近外罩连接处安装有加热器A，所述输气管外表面靠近循环风机一侧安装有加热器B。

优选的，所述加热器A内部位于输气管外表面安装有加热管A，所述加热器B内部位于输气管外表面安装有加热管B，通过设置加热管A和加热管B对氮气进行循环加热。

优选的，所述内罩内表面位置处安装有燃烧器，所述燃烧器呈环形设置于内罩内表面，通过设置环形的燃烧器，对内罩内部进行均匀加热。

优选的，所述平台顶部位于支撑台一侧安装有气罐，所述气罐一侧通过充气管连接于内罩内，通过气罐储存氮气。

优选的，所述内罩顶部中间安装有排气管，所述排气管和充气管中间安装有阀门，通过设置排气管，便于将氧气排出。

优选的，所述平台顶部位于抽气管外表面中间安装有冷却箱，所述冷却箱顶部中间有电机B，所述电机B输出轴安装有风扇，通过冷却箱，对循环气体进行降温，便于钢带冷却。

优选的，所述齿轮与蜗杆蜗轮相啮合，通过啮合的齿轮和蜗杆蜗轮，带动旋转座缓慢转动。