[实用新型]一种铝饱和用预沉积筒形硅舟有效

申请号：	202220832791.4	申请日：	2022-04-12
公开（公告）号：	CN217134333U	公开（公告）日：	2022-08-05
发明（设计）人：	黄智;张灿阳;季文鹏;刘晓;李娴;汤尧	申请（专利权）人：	湖北台基半导体股份有限公司
主分类号：	H01L21/673	分类号：	H01L21/673;H01L21/22
代理公司：	襄阳嘉琛知识产权事务所 42217	代理人：	严崇姚
地址：	441021 湖***	国省代码：	湖北;42
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摘要：
搜索关键词：	一种饱和沉积筒形硅舟
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【权利要求书】：

1.一种铝饱和用预沉积筒形硅舟，包括第一全封闭筒形硅舟（1）、第二全封闭筒形硅舟（2）、硅舟（3）和全封闭筒形硅舟封板（4），所述第一全封闭筒形硅舟（1）和硅舟（3）分别位于第二全封闭筒形硅舟（2）内的上部和下部，所述第二全封闭筒形硅舟（2）的两端口用全封闭筒形硅舟封板（4）封闭，其特征在于：所述第一全封闭筒形硅舟（1）和第二全封闭筒形硅舟（2）的内表面为非光滑表面。

2.根据权利要求1所述的一种铝饱和用预沉积筒形硅舟，其特征在于：所述的第一全封闭筒形硅舟（1）和第二全封闭筒形硅舟（2）为全封闭结构。

3.根据权利要求2所述的一种铝饱和用预沉积筒形硅舟，其特征在于：所述的第一全封闭筒形硅舟（1）的内表面为锯齿状结构的内表面。

4.根据权利要求2所述的一种铝饱和用预沉积筒形硅舟，其特征在于：所述的第二全封闭筒形硅舟（2）的内表面为锯齿状结构的内表面。

5.根据权利要求2所述的一种铝饱和用预沉积筒形硅舟，其特征在于：所述的第一全封闭筒形硅舟（1）和第二全封闭筒形硅舟（2）的内表面均为锯齿状结构的内表面。

6.根据权利要求2所述的一种铝饱和用预沉积筒形硅舟，其特征在于：所述的第一全封闭筒形硅舟（1）的内表面为凸和/或凹结构的内表面。

7.根据权利要求2所述的一种铝饱和用预沉积筒形硅舟，其特征在于：所述的第二全封闭筒形硅舟（2）的内表面为凸和/或凹结构的内表面。

8.根据权利要求2所述的一种铝饱和用预沉积筒形硅舟，其特征在于：所述的第一全封闭筒形硅舟（1）和第二全封闭筒形硅舟（2）的内表面均为凸和/或凹结构的内表面。

9.根据权利要求6、7或8所述的一种铝饱和用预沉积筒形硅舟，其特征在于：所述的凸结构为半球体形、圆锥体形、圆锥台形或梯形台形。

10.根据权利要求9所述的一种铝饱和用预沉积筒形硅舟，其特征在于：所述的凹结构为半球体形、圆锥体形、圆锥台形或梯形台形凹槽。

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