[实用新型]一种SF6微水密度传感器批量校准装置

权利要求书

1.一种SF6微水密度传感器批量校准装置，其特征在于：包括高纯氮气罐、高精度压力表、高精度流量控制器、手动阀、电动阀、鼓泡器(11)、湿度表(12)、单向逆止阀(13)、气路管道(14)、混气罐(15)、前置高精度露点仪(16)、转子流量计(17)、SF6微水密度传感器安装底座(18)、后置高精度露点仪(19)、气体延长管(20)以及计算机(21)，所述混气罐(15)上设置有接口，分别为第一进气接口、第二进气接口以及出气接口，所述出气接口上连接有φ6气动快速接头，φ6气动快速接头的另一端连接前置高精度露点仪(16)，所述前置高精度露点仪(16)通过φ4气动快速接头与转子流量计(17)连接，所述转子流量计(17)通过φ6气动快速接头与SF6微水密度传感器安装底座(18)连接，所述SF6微水密度传感器安装底座(18)上安装有SF6微水密度传感器，所述后置高精度露点仪(19)通过φ6气动快速接头与SF6微水密度传感器安装底座(18)连接，所述后置高精度露点仪(19)的出气口上连接气体延长管(20)；

所述高纯氮气罐包括第一高纯氮气罐(1)和第二高纯氮气罐(2)，所述高精度压力表包括第一高精度压力表(3)和第二高精度压力表(4)，所述高精度流量控制器包括第一高精度流量控制器(5)和第二高精度流量控制器(6)，所述手动阀包括第一手动阀(7)和第二手动阀(8)，所述电动阀包括有第一电动阀(9)和第二电动阀(10)，所述第一高纯氮气罐(1)通过φ6接口管道连接第一高精度流量控制器(5)，所述第一高精度压力表(3)通过三通阀连接在第一高纯氮气罐(1)和第一高精度流量控制器(5)之间，所述第一高精度流量控制器(5)通过φ6气动快速接头连接第一手动阀(7)，所述第一手动阀(7)通过φ6气动快速接头连接第一电动阀(9)，所述第一电动阀(9)通过气路管道(14)连接在混气罐(15)上的第一进气接口；

所述第二高纯氮气罐(2)通过φ6接口管道连接第二高精度流量控制器(6)，所述第二高精度压力表(4)通过三通阀连接在第二高纯氮气罐(2)和第二高精度流量控制器(6)之间，所述第二高精度流量控制器(6)通过φ6气动快速接头连接第二手动阀(8)，所述第二手动阀(8)通过φ6气动快速接头连接第二电动阀(10)，所述第二电动阀(10)通过φ6气动快速接头连接鼓泡器(11)，所述鼓泡器(11)通过φ6气动快速接头连接湿度表(12)，所述湿度表(12)通过三通阀连接单向逆止阀(13)，所述单向逆止阀(13)通过φ6气动快速接头连接在混气罐(15)上的第二进气口上；

所述SF6微水密度传感器安装底座(18)上安装的SF6微水密度传感器、第一高精度压力表(3)、第二高精度压力表(4)、第一高精度流量控制器(5)、第二高精度流量控制器(6)、湿度表(12)、前置高精度露点仪(16)、后置高精度露点仪(19)分别与计算机通信连接。

2.根据权利要求1所述的一种SF6微水密度传感器批量校准装置，其特征在于：所述第一高纯氮气罐(1)和第二高纯氮气罐(2)的输出露点值为-58℃的氮气。

3.根据权利要求2所述的一种SF6微水密度传感器批量校准装置，其特征在于：所述第一高纯氮气罐(1)和第二高纯氮气罐(2)上分别设置有出气口，所述出气口分别接入减压阀。

4.根据权利要求1所述的一种SF6微水密度传感器批量校准装置，其特征在于：所述SF6微水密度传感器安装底座(18)设置有5组，每组SF6微水密度传感器安装底座(18)上安装5个SF6微水密度传感器，所述SF6微水密度传感器以串联的方式依次连接。

5.根据权利要求1所述的一种SF6微水密度传感器批量校准装置，其特征在于：所述计算机(21)通过USB转485/TTL工具与待测SF6微水密度传感器之间通信连接。

6.根据权利要求1所述的一种SF6微水密度传感器批量校准装置，其特征在于：所述第一高精度压力表(3)、第二高精度压力表(4)以及湿度表(12)分别通过RS485通信连接计算机(21)。