[实用新型]防漏液机台盖板

说明书

本实用新型提供了一种防漏液机台盖板，设置在一机台上且位于一冷却水管的下方，包括盖板主体及漏液检测单元，盖板主体的中心具有一通孔，通孔的外边缘及盖板主体的外边缘处分别设置有第一防漏水凸起及第二防漏水凸起，第一防漏水凸起及第二防漏水凸起均由盖板主体的上表面向上延伸至预设高度，漏液检测单元安装在盖板主体的上表面且位于第一防漏水凸起与第二防漏水凸起之间，以用于检测冷却水管泄露的冷却水。通过在盖板主体中心的通孔及外边缘处设置防漏水凸起，能够有效防止从冷却水管泄露的冷却水从盖板主体向下滴落，并且，通过漏液检测单元还能够检测到盖板主体上是否存着冷却水，达到实时监控的目的，以便及时处理。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种防漏液机台盖板。

背景技术

随着工业技术的发展，许多工业设备在使用过程中会出现液体的泄露，一般在装设生产设备的半导体厂，或者装设电气设备的机房，在这些机房里有一些重要的设备，如立式扩散炉机器内部的机台盖板上端的冷却水管处有漏水时，泄露的冷却水会通过所述机台盖板向下渗入机台端的硅片加载区，进而损坏硅片，影响产品的良率，造成无法预料的损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防漏液机台盖板，不仅能够阻挡泄露的冷却水的滴落，同时还能够对漏水情况进行实时监控，以便及时处理。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种防漏液机台盖板，设置在一机台上且位于一冷却水管的下方，包括盖板主体及漏液检测单元，所述盖板主体的中心具有一通孔，所述通孔的外边缘及所述盖板主体的外边缘处分别设置有第一防漏水凸起及第二防漏水凸起，所述第一防漏水凸起及所述第二防漏水凸起均由所述盖板主体的上表面向上延伸至预设高度，所述漏液检测单元安装在所述盖板主体的上表面且位于所述第一防漏水凸起与所述第二防漏水凸起之间，以用于检测所述冷却水管泄露的冷却水。

可选的，所述第二防漏水凸起与所述盖板主体的外边缘具有预设间距。

可选的，所述漏液检测单元包括第一漏液检测带及第二漏液检测带，所述第一漏液检测带安装在所述第一防漏水凸起的外侧，所述第二漏液检测带安装在所述第二防漏水凸起的内侧。

可选的，所述第一漏液检测带与所述第一防漏水凸起均为环形且所述第一漏液检测带环绕设置所述第一防漏水凸起的外侧。

可选的，所述第一防漏水凸起呈扩口状。

可选的，所述第二漏液检测带与所述第二防漏水凸起均为矩形且所述第二漏液检测带设置在所述第二防漏水凸起的内侧。

可选的，所述第一漏液检测带及所述第二漏液检测带均与所述盖板主体胶粘连接。

可选的，所述第一漏液检测带及所述第二漏液检测带均与所述盖板主体通过螺钉连接。

可选的，所述防漏液机台盖板还包括侧板，所述侧板位于所述盖板的一侧，且所述侧板的一端与所述盖板主体垂直连接，另一端沿竖向向下延伸以封闭所述机台的后门。

可选的，所述盖板主体及所述侧板的材质均为不锈钢。

本实用新型提供了一种防漏液机台盖板，通过在所述盖板主体中心的通孔及外边缘处分别设置防漏水凸起，能够有效防止从所述冷却水管泄露的冷却水从所述盖板主体向下滴落，并且，通过所述漏液检测单元还可以检测到所述盖板主体上是否存着冷却水，并且，通过漏液检测单元还能够检测到盖板主体上是否存着冷却水，达到实时监控的目的，以便及时处理。

附图说明

本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本实用新型，而不对本实用新型的范围构成任何限定。其中：

图1为本实用新型实施例提供的防漏液机台盖板的俯视图；

图2为本实用新型实施例提供的防漏液机台盖板的侧视图。