[实用新型]一种溅射靶材焊接工装

说明书

本实用新型提供了一种溅射靶材焊接工装，涉及溅射靶材加工领域，包括：工装台，开设于工装台顶部一侧的凹槽，凹槽内中部设置有转盘，设于工装台顶部靠近凹槽一侧、用于对靶材进行焊接的防护组件；以及设于工装台内部用于清除焊接碎屑的清理组件。该种焊接工装通过设置防护组件，在焊接过程中，挡屑板能够阻挡焊接的碎屑飞溅到工作人员的眼睛里，达到靶材焊接具有良好的保护效果，避免碎屑飞溅弄伤工作人员的眼睛，同时，设置清理组件，达到便于收集清理的目的，进而减少工作人员的清理工作量，而通过耐磨层能够提升清理板的耐磨性，延长清理板的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及溅射靶材加工技术领域，具体是一种溅射靶材焊接工装。

背景技术

溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固定表面院子发生动能交换，使固体表面的院子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材，各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、太阳能光伏、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。

现有溅射靶材焊接工装过程中，由于靶材大多数都是裸露在外部的，在焊接靶材时会有大量的碎屑向外飞溅，而碎屑带有一定的热量温度，导致碎屑飞溅容易造成弄伤工作人员的眼睛，使得溅射靶材焊接工装的防护性较差，同时，现有靶材焊接工装产生的碎屑不便于收集清理，在将靶材完成焊接工装后需要人工处理，使得增加工作强度，效率较低。

实用新型内容

本实用新型旨在于解决背景技术中存在的缺点，提供一种溅射靶材焊接工装，通过设置防护组件，在焊接过程中，挡屑板能够阻挡焊接的碎屑飞溅到工作人员的眼睛里，达到靶材焊接具有良好的保护效果，避免碎屑飞溅弄伤工作人员的眼睛，同时，设置清理组件，达到便于收集清理的目的，进而减少工作人员的清理工作量，而通过耐磨层能够提升清理板的耐磨性，延长清理板的使用寿命。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，一种溅射靶材焊接工装，包括：

工装台；

开设于所述工装台顶部一侧的凹槽，所述凹槽内中部设置有转盘；

设于所述工装台顶部靠近所述凹槽一侧、用于对靶材进行焊接的防护组件；以及

设于所述工装台内部用于清除焊接碎屑的清理组件。

进一步的，所述工装台外端一侧固定安装有控制器，所述防护组件包括：

设于所述转盘顶部的工装架；

设于所述工装台顶部靠近凹槽一侧的固定块；

设于所述固定块顶部的挡屑板；

多个开设于所述挡屑板外侧的焊接槽。

进一步的，所述工装架靠近底端的位置处设置有限位块，所述限位块内部设置有压簧，所述压簧一端连接有弧形块，且所述压簧和弧形块呈环形有序排列。

进一步的，所述转盘内中部设置有轴承，所述工装架底端中部设置有转杆，且所述工装架通过转杆与轴承转动连接。

进一步的，所述工装架顶端均设置有支杆，所述支杆顶部连接有固定盘。

进一步的，所述凹槽靠近顶端的位置处开设有若干个排屑孔，若干个所述排屑孔底部设置有排料管，且所述排料管贯穿于工装台内部。

进一步的，所述清理组件包括设备箱、伸缩缸、伸缩杆、清理板和耐磨层，所述工装台背面中部贯通设置有设备箱，所述设备箱内部固定安装有伸缩缸，且所述伸缩缸与控制器电性连接，所述伸缩缸一端驱动连接有伸缩杆，所述伸缩杆一端连接有清理板，且所述清理板与工装台内部底端紧密贴合，所述清理板外表面设置有耐磨层，且所述耐磨层采用合金钢涂料涂刷而成。