[实用新型]多维复合高精度调整架

权利要求书

1.多维复合高精度调整架，包括干涉仪调整架、CGH调整架、CGH+干涉仪调整架、基座、第一直线导轨、安装面、第一滚珠丝杠、第一伺服电机、XY向横移组合滑台、旋转台、CGH安装座、第二滚珠丝杠、移动支架、第二伺服电机、旋转基座、滑鞍A、轴承座a、滑台D、滑台A、滑台B、滑台C、轴承座b、滑鞍B、滑鞍C、滑动槽c、滑动槽d、滑鞍D、底座、第二直线导轨、底板、滑动槽、驱动机构、凸轮随动器、连接板、减速器、伺服电机和齿条，其特征在于：所述干涉仪固定在干涉仪调整架上，CGH固定在CGH调整架的旋转台上，干涉仪调整架和CGH调整架整体坐落在CGH+干涉仪调整架上，干涉仪固定在安装面上，安装面通过第一直线导轨与基座连接一起，第一伺服电通过驱动第一滚珠丝杠使安装面在基座上移动；

所述CGH通过CGH安装座固定在旋转台的旋转面上，旋转台固定在XY向横移组合滑台的滑鞍上，XY向横移组合滑台固定在移动支架上，移动支架通过第一直线导轨与基座连接在一起，第二伺服电机带动第二滚珠丝杠旋转；

所述滑台A、滑台B、滑台C和滑台D分别固定在旋转基座上，轴承座a和轴承b分别固定在基座上，滑鞍A通过轴与轴承座a配合在一起，滑鞍B通过轴与轴承座b配合在一起，基座的两侧面分别固定了滑动槽c和滑动槽d，滑鞍C通过凸轮随动器与滑动槽c配合在一起，滑鞍D通过凸轮随动器与滑动槽d配合在一起，滑台A和滑台B永远同步运行，滑台C和滑台D永远同步运行，旋转基座固定在回转支承的上部旋转台上，回转支承底座固定在底板上，凸轮随动器通过连接板与旋转基座连接在一起，滑动槽的底部固定在驱动机构的移动部位上，驱动机构固定在底板上。

2.根据权利要求1所述的多维复合高精度调整架，其特征在于：所述滑动槽的内侧与凸轮随动器紧密配合在一起，底板通过第二直线导轨与底座连接在一起。

3.根据权利要求1所述的多维复合高精度调整架，其特征在于：所述齿条固定在底座上，减速器固定在底板上。

4.根据权利要求1所述的多维复合高精度调整架，其特征在于：所述减速器的输出轴上设置有小齿轮，小齿轮固定在减速器的输出轴上。

5.根据权利要求4所述的多维复合高精度调整架，其特征在于：所述小齿轮与齿条啮合在一起。