[实用新型]一种棱镜调整装置和单波长椭偏仪设备

说明书

本申请实施例的目的是提供一种棱镜调整装置和单波长椭偏仪设备。本申请实施例提供了一种棱镜调整装置，包括：电机圆盘、一级调整圆盘、二级调整圆盘和吸光布。本申请实施例具有以下优点：根据本申请的棱镜调整装置的结构占用空间小，减小了设备空间，提高了待调整棱镜的精度；并且，所述棱镜调整装置能够满足半导体设备对杂散光的要求，且对光机结构造成的影响较小。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种棱镜调整装置和单波长椭偏仪设备。

背景技术

在半导体测量设备中，椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高、适用于超薄膜、与样品非接触、对样品没有破坏并且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器，而椭偏仪的使用方式决定了其光机结构需要有足够的稳定性、高精度以及结构小等特点，

基于现有技术的方案，一个棱镜调整装置一般仅调整一个棱镜，使得光机结构较大，且装夹比较费时费力，成本较高。

实用新型内容

本申请实施例的目的是提供一种棱镜调整装置和单波长椭偏仪设备。

本申请实施例提供了一种棱镜调整装置，其特征在于，包括：电机圆盘、一级调整圆盘、二级调整圆盘和吸光布。

其中，所述吸光布粘贴在一级调整圆盘和二级调整圆盘上。

根据一个实施例，所述一级调整圆盘中空设置，并与待调整的棱镜的形状相适应。

根据一个实施例，所述二级调整圆盘中空设置，并与待调整的棱镜的形状相适应。

根据一个实施例，所述二级调整圆盘上设有凸台，该凸台的长度与待调整的棱镜的长度相适应。

根据一个实施例，所述一级调整圆盘上设有螺钉孔和顶丝孔，所述螺钉孔和顶丝孔用于调整棱镜入射面角度。

本申请实施例提供了一种单波长椭偏仪设备，该单波长椭偏仪设备包括本申请实施例的棱镜调整装置。

与现有技术相比，本申请实施例具有以下优点：根据本申请的棱镜调整装置的结构占用空间小，减小了设备空间，提高了待调整棱镜的精度；并且，所述棱镜调整装置能够满足半导体设备对杂散光的要求，且对光机结构造成的影响较小。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1(a)示出了根据本申请实施例的一个示例性的棱镜调整装置的结构示意图；

图1(b)示出了根据本申请实施例的一个示例性的棱镜调整装置的结构示意图。

附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。

具体实施方式

根据本申请实施例的棱镜调整装置包括电机圆盘、一级调整圆盘、二级调整圆盘和吸光布。

其中，所述吸光布粘贴在一级调整圆盘上。

优选地，所述吸光布同时粘贴在一级调整圆盘和二级调整圆盘上。

根据一个实施例，所述电机圆盘上设有一个或多个槽，用于限定一级调整圆盘和二级调整圆盘的位置。

优选地，电机圆盘上设有V型槽、圆锥槽和平面，所述V型槽、圆锥槽和平面用于调整一级调整圆盘和二级调整圆盘的位置。

根据一个实施例，所述一级调整圆盘中空设置，并与待调整的棱镜的形状相适应。并且，所述一级调整圆盘的一面与棱镜之间的具有间隙，该间隙用于粘贴吸光布。