[实用新型]一种扫描电镜块状样品台

说明书

本实用新型属于扫描电镜样品台技术领域，尤其是一种扫描电镜块状样品台，针对现有的扫描电镜样块状样品台对于一些形状不规则、磁性块体、不导电材料实用性低的问题，现提出如下方案，其包括样品台底座、凹形圆台和圆形格栅片，所述凹形圆台固定安装在样品台底座的顶部，所述圆形格栅片位于所述凹形圆台的上方，所述凹形圆台顶部开设有两个对称设置的螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有螺钉，螺钉与圆形格栅片相互配合，所述样品台底座与凹形圆台材质为铝合金材质，所述圆形格栅片的材质为铝基或者铜基合金，且圆形格栅片直径与凹形圆台直径相同。本实用新型的样品制备简单方便，不需要对样品进行特殊处理，样品可以回收再利用。

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜样品台技术领域，尤其涉及一种扫描电镜块状样品台。

背景技术

扫描电子显微镜是一种精密测试仪器，它通过电子枪发射出稳定和可调的电子束轰击样品表面，从而激发出各种信号，并通过不同的探测装置对信号进行收集和处理，用来表征样品信息。扫描电子显微镜所涉及包含生物、医药、矿物、材料、基础物理和化学等众多领域。

现有的扫描电镜样块状样品台，一般采用夹具从块状样品的侧面固定，对于一些形状不规则、磁性块体、不导电材料实用性有待提高。例如，块体样品一般形状不规则，切割或抛磨出平整侧面相对麻烦。用螺钉直接固定不太方便，且其接触面积较小，一般采用导电胶粘在样品侧面，再用螺钉固定。但导电胶在真空中会变形，导致与样品之间剥离，增加接触电阻；磁性块体，若仅靠侧面和底面固定，依然存在被吸附到电镜极靴上的危险情况；导电性能较差的块体仅依靠侧面和底部并不能很好的转移电子，需要在观测表面粘导电胶带以增加接触面，提高导电性。但是导电胶带可能会污染样品，不利于样品回收进行后续测试。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有的扫描电镜样块状样品台对于一些形状不规则、磁性块体、不导电材料实用性低的缺点，而提出的一种扫描电镜块状样品台。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种扫描电镜块状样品台，包括样品台底座、凹形圆台和圆形格栅片，所述凹形圆台固定安装在样品台底座的顶部，所述圆形格栅片位于所述凹形圆台的上方，所述凹形圆台顶部开设有两个对称设置的螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有螺钉，螺钉与圆形格栅片相互配合。

优选的，所述样品台底座与凹形圆台材质为铝合金材质。

优选的，所述圆形格栅片的材质为铝基或者铜基合金，且圆形格栅片直径与凹形圆台直径相同。

优选的，所述凹形圆台外径为20mm，内径为15mm，圆形格栅片外圆直径与凹形圆台的外径一致，圆形格栅片内径尺寸与凹形圆台内径尺寸一致。

优选的，所述圆形格栅片为圆形薄片状，其厚度为0.5-1mm。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型的样品制备简单方便，不需要对样品进行特殊处理，样品可以回收再利用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种扫描电镜块状样品台的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种扫描电镜块状样品台的俯视结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种扫描电镜块状样品台的仰视结构示意图。

图中：1、样品台底座；2、凹形圆台；3、圆形格栅片；4、螺钉。

具体实施方式

下面将结合本实施例中的附图，对本实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例一