[实用新型]一种运动平台线缆的支撑装置

说明书

本实用新型提供一种运动平台线缆的支撑装置，该支撑装置包括依次连接的底座、连杆及支撑框架，支撑框架能够随连杆的凸台做弧形的曲线运动，同时其自身也能够绕凸台自由旋转。底座固定于运动平台下层盖板的上表面，位于下层盖板上方的U型线缆的端部能够在上层移动平台的牵引下做直线往复运动，U型线缆的弯曲点与支撑框架固定连接，以使弯曲点在支撑装置的支撑下做曲线往复运动，从而保证线缆与下层盖板的上表面始终保持一定的距离，避免了线缆与下层盖板的表面产生摩擦造成损坏，节省宕机时间。此外，支撑框架与连杆、底座之间的连接设计，使得支撑框架也能做同步的自由曲线运动，不会对线缆的自身运动产生牵绊。

技术领域

本实用新型涉及运动平台技术领域，特别是涉及一种运动平台线缆的支撑装置。

背景技术

运动平台用于产品的制造、测试等各个环节，包括半导体和平板显示、汽车制造、激光处理、军事/航空宇宙、装配等各个领域。在运动平台中，针对运动物体的线缆布置是一个关键技术，包括电路、气路等。现有的线缆布置大多直接采用扁平柔性线缆的方式，靠线缆本身弯曲并运动；如图1所示为ASML WS上的部分线缆，上层移动平台502位于下层盖板501的上表面并能够沿某固定方向做往复运动，与其连接的线缆呈U型布置于下层盖板501的上表面，上层移动平台502运动时，会牵引线缆做往复运动，对于U型线缆的弯曲点51则会做固定的往复曲线运动，往复的高速运动容易使线缆与下层盖板501的表面发生摩擦造成破损，摩擦生成的碎屑也会在机台中产生很多污染，而且此部件连接机器众多部件，导致因为磨损造成的宕机需要很长时间修复，目前缓解这种磨损的方式是在线缆下方添加无用的空管路或在下层盖板与线缆之间铺设光滑的塑料板，但这些方法仅能缓解摩擦产生的影响，但并未完全的消除摩擦。

因此，需要提出一种装置彻底的消除线缆与盖板的摩擦，避免由此导致的宕机。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型提供一种运动平台线缆的支撑装置，所述支撑装置包括：

底座，所述底座的上表面具有滚轮及弧形凹槽；

连杆，所述连杆内开有沿长度方向的孔槽，所述连杆上表面固定有位于端部的凸台，所述连杆下表面固定有与所述弧形凹槽相适配的限位块，所述限位块放置于所述弧形凹槽内，所述滚轮套设于所述孔槽内，以限制所述凸台的运动轨迹为弧形曲线；

支撑框架，所述支撑框架的底部具有与所述凸台适配的凹孔，以使所述支撑框架竖直地安装于所述凸台的上方并能够绕凸台自由旋转；

其中，所述底座固定于运动平台下层盖板的上表面，位于下层盖板上方的U型线缆的端部能够在牵引下做直线往复运动，所述U型线缆的弯曲点与所述支撑框架固定连接，以使所述弯曲点在所述支撑装置的支撑下做曲线往复运动。

优选地，上层移动平台位于所述下层盖板上方，且与所述U型线缆的端部固定连接，所述上层移动平台能够沿所述U型线缆的开口方向做直线往复运动，从而为所述U型线缆提供牵引。

优选地，所述底座中设有若干个螺孔，以通过螺钉固定于所述下层盖板的上表面。

优选地，所述支撑框架的凹孔与所述凸台的连接处装有轴承。

优选地，所述支撑框架的纵切面为口字形，所述U型线缆从所述支撑框架的内部空隙中穿过。

优选地，所述U型线缆包括电缆、气管。

优选地，所述支撑框架包括能够拆卸的侧板及支撑板，所述侧板及支撑板通过螺钉连接。

优选地，所述连杆内孔槽的数量为2个。

优选地，所述支撑框架的高度为100mm～500mm。

优选地，所述孔槽的长度为50mm～400mm。