[实用新型]一种简易型铜液防溅盘

说明书

本实用新型涉及一种简易型铜液防溅盘，包括内部设有缕空结构的盘体，所述盘体上下两个表面上开设有数个孔洞，位于盘体表面上的所述孔洞与所述缕空结构搭配形成两侧通透的网格结构，用于供粉尘飘散通过，本实用新型能有效的阻止铜液的飞溅，减少后期的清理维护，避免了由溅射问题带来的设备绝缘安全性、铜液易损耗问题的发生，同时提高改善粉体的均一性和质量并不影响粉体的飘散，有助于气泡CVD设备实现长时间连续生产的功能。

技术领域

本实用新型涉及石墨烯粉体制备设备配件技术领域，具体涉及一种简易型铜液防溅盘。

背景技术

气泡CVD方法制备石墨烯粉体时需将反应组合气体通入到铜液中进行造泡以生产出石墨烯粉体。在实际生产造泡过程中，发现气体进入铜液中造泡会附带着把铜液吹散溅射出来，以致于设备腔体内壁、底端、加热线圈以及保温毡处在生产结束后会聚集附着大量的铜液凝结物，而坩埚中的铜液量因此却一直在减少，不利于粉体的连续长时间生产。其中腔体内壁以及底端处的铜溅射物附着能力较强，后期不易清理，清理时需要花费大量人力物力，且对设备有一定的损坏，此外保温毡和加热线圈上也有铜液溅射，这些都迫使每次生产完要进行及时清理，否则仪器的整体绝缘安全性得不到保障，容易带来短路漏电以及爆炸的安全隐患。

专利号为CN113461000A的发明专利公开了一种泡化学气相沉积法制备石墨烯粉体的设备，然而其在高温生产过程中会形成熔化状态的铜液，气流将石墨烯从铜表面带走以进入收集装置从而达到收集石墨烯粉体的效果。然而，对于铜液溅射，目前主要是采用加高保温毡来阻止铜液的溅射，虽然有效果，但并不能完全杜绝铜液的溅射，不能从根本上决绝这个问题，且石墨毡在使用后会出现纤维脱落的问题，导致粉体污染。此外设备腔体空间制约也不能无限加高，单纯加高后一方面会导致粉体流动飘散受阻，石墨烯粉体大量聚集在坩埚台面以及铜液表面，严重影响粉体的均一性和质量。另一方面会容易导致保温毡与腔体接触导致设备短路，最后，石墨毡加高后会明显妨碍观察窗的视线，以致不能及时明确的观察到腔体内反应情况进行生产参数调控以及生产风险把控。

因此，针对现有技术的上述缺陷，有必要设计一种简易型铜液防溅盘以解决上述问题。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提出一种简易型铜液防溅盘，以解决铜液飞溅问题以及由此带来的清理困难、铜料易损耗和设备绝缘安全性问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种简易型铜液防溅盘，包括内部设有缕空结构的盘体，所述盘体上下两个表面上开设有数个孔洞，位于盘体表面上的所述孔洞与所述缕空结构搭配形成两侧通透的网格结构，用于供粉尘飘散通过。

优选的，所述盘体由上栅板和下栅板构成，所述孔洞形成于所述上栅板和下栅板上。

优选的，所述缕空结构为所述上栅板以及下栅板所围成的空间。

优选的，位于所述盘体两侧的所述孔洞分别采用条型孔洞和圆弧型孔洞。

优选的，所述条型孔洞和圆弧型孔洞在空间上交差设置以形成交叉状矩形网格结构。

优选的，所述条型孔洞和圆弧型孔洞分别等距分布于下栅板和上栅板上。

优选的，所述盘体的中心位置设有通孔，所述通孔贯穿形成于所述上栅板和下栅板。

优选的，所述盘体的半径尺寸大于石墨坩埚开口处半径尺寸，所述盘体放置于石墨坩埚开口上。

优选的，所述盘体的半径尺寸较石墨坩埚开口处半径尺寸大10mm。

优选的，所述盘体的材质为石墨材料。

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：