[实用新型]一种硅片制绒清洗药液液位智能调节装置

权利要求书

1.一种硅片制绒清洗药液液位智能调节装置，包括制绒槽(1)，其特征在于：所述制绒槽(1)内部设有用于将制绒药液进行导流的导流部件，导流部件包括导流管，导流管卡设在制绒槽(1)上，制绒槽(1)底部设有用于对制绒液进行补液和温控的调节部件，调节部件包括调节管，制绒槽(1)底部设有对硅片制绒产生的杂质进行过滤的过滤部件，过滤部件包括用于对过滤部件进行冲洗的溢流管(14)，溢流管(14)嵌设在制绒槽(1)内部。

2.根据权利要求1所述的一种硅片制绒清洗药液液位智能调节装置，其特征在于:所述调节管包括用于对制绒液进行补液的补液管(7)和用于对制绒槽(1)内部制绒液进行加热的温控管(8)，温控管(8)内部设有用于温度调节的加热丝(9)，补液管(7)上设有若干喷淋口(10)，补液管(7)与温控管(8)之间设有用于隔热的隔热胶条。

3.根据权利要求1所述的一种硅片制绒清洗药液液位智能调节装置，其特征在于:所述过滤部件包括过滤筛板(11)，过滤筛板(11)嵌设在制绒槽(1)内部，过滤筛板(11)内设有通槽，通槽内部设有用于对过滤筛板(11)进行密封的密封伸缩板(12)，过滤筛板(11)上设有用于将过滤筛板(11)上的杂质进行冲洗引流的引流板(13)，引流管上设有引流口，引流板(13)上设有冲洗时格挡杂质的伸缩挡板(15)，密封伸缩板(12)和伸缩挡板(15)为多层伸缩板，密封伸缩板(12)和伸缩挡板(15)内部均设有气缸。

4.根据权利要求1所述的一种硅片制绒清洗药液液位智能调节装置，其特征在于:所述导流管包括导流主管(2)和导流辅向管(3)，导流辅向管(3)嵌设在导流主管(2)内部，导流主管(2)内部设有缓冲部件，缓冲部件包括缓冲挡板(4)，缓冲挡板(4)呈倾斜状，缓冲挡板(4)与导流主管(2)可拆卸连接，缓冲挡板(4)上设有缓冲侧板(5)，缓冲侧板(5)与缓冲挡板(4)密封连接，缓冲挡板(4)和缓冲侧板(5)呈倾斜状，导流辅向管(3)设有用于将制绒液导入制绒槽(1)的导流口(6)，导流口(6)呈倾斜状。

5.根据权利要求1所述的一种硅片制绒清洗药液液位智能调节装置，其特征在于:所述制绒槽(1)内部设有用于感应制绒槽(1)内制绒液液位的液位仪(16)。

6.根据权利要求3所述的一种硅片制绒清洗药液液位智能调节装置，其特征在于:所述制绒槽(1)靠近溢流管(14)和引流口的位置上分别设有密封引流口和溢流管(14)的盖板。