[实用新型]光束属性的检测设备

说明书

本申请公开了一种光束属性的检测设备，该设备包括：光束能量调节器和光束属性检测器，其中，光束能量调节器的入光面与待检测激光器连接，光束能量调节器的出光面与光束属性检测器的光接口连接，采用上述技术方案，解决了相关技术中激光器输出光束属性检测的准确率较低等问题，实现了提高激光器输出光束属性检测的准确率的技术效果。

技术领域

本申请涉及激光领域，具体而言，涉及一种光束属性的检测设备。

背景技术

光纤激光器是由半导体泵浦管发出的泵浦光经掺稀土元素的增益光纤吸收后得到的光再经FBG光纤光栅震荡放大后，经过多级放大，多路耦合后通过传能光纤由输出端帽（QBH）输出得到激光光束，光纤激光器相对于传统固体激光器由于激光光束质量好、高相干性、亮度高、转换效率高、体积小、寿命长等优点，广泛应用于材料加工，如打标、打孔、焊接、切割、清洗、涂覆等以及光通信、光谱成像、医疗等领域。随着工业水平的快速发展，对应用的光纤激光器属输出的光束的属性的要求也越来越高，比如，要求激光器的输出光束功率具有较高的稳定性具有特定的要求，尤其在激光器应用于微纳高精密材料加工中，激光器的输出异常波动都可能造成加工材料的巨大缺陷，总之，光纤激光器的输出光束的属性直接影响到激光器在材料加工应用中的效果。

目前，在激光行业常使用光功率计接受采集激光器输出光束的输出曲线的方式检测激光器的输出功率稳定性，但是，这种方式对检测激光器输出光束的属性具有一定的局限性，首先，光功率计仅能检测激光器输出光束的功率稳定性，对光斑尺寸、发散角等光束属性的检测不适用，其次，光功率计时利用热释电材料制成的，这种材料在热量的积累下随着激光器输出时间越来越长就会导致测量结果有一定的偏差，从而影响检测结果，再其次，1000W及以上的中高功率激光功率计，大部分都是水冷型，即是光功率计内部必须有水冷机通循环冷却水实现散热，在实际测量中，当功率计内部热量积累较多时，水冷机启动制冷，从而循环水实现快速降温，此时会出现激光功率计波动较大，会出现采集到异常极大值，进而，对检测结果影响较大，极大的影响了光纤激光器输出光束属性检测的准确率。

针对相关技术中激光器输出光束属性检测的准确率较低等问题，尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

本申请实施例提供了一种光束属性的检测设备，以至少解决相关技术中激光器输出光束属性检测的准确率较低等问题。

根据本申请实施例的一个实施例，提供了一种光束属性的检测设备，包括：光束能量调节器和光束属性检测器，其中，所述光束能量调节器的入光面与待检测激光器连接，所述光束能量调节器的出光面与所述光束属性检测器的光接口连接。

可选的，所述光束能量调节器为光束过滤器，其中，所述光束过滤器的出光参数与所述光束属性检测器的入光条件匹配。

可选的，所述光束过滤器，包括：分光镜，其中，所述分光镜对目标波长的光束具有目标比例的透光率。

可选的，所述光束过滤器，还包括：吸光材料，其中，所述吸光材料设置于所述分光镜的反射光路上。

可选的，所述光束过滤器，还包括：耦合镜组，其中，所述耦合镜组位于所述分光镜的出光面侧，所述耦合镜组的光路与所述分光镜的透射光路同轴，所述耦合镜组的出光面与所述光束属性检测器的光接口连接。

可选的，所述光束能量调节器包括多个光束过滤器，其中，所述多个光束过滤器与多个光束过滤参数一一对应，所述多个光束过滤器中的目标光束过滤器所对应的目标光束过滤参数与所述待检测激光器匹配。

可选的，所述光束能量调节器的入光面通过分光器的第一光束输出端与所述待检测激光器连接，其中，所述分光器的光束输入端和第二光束输出端连接在所述待检测激光器中。

可选的，在所述待检测激光器的泵浦源不位于所述待检测激光器的谐振腔的高反端的情况下，所述分光器的光束输入端与所述谐振腔的高反端连接，所述分光器的第二光束输出端与所述待检测激光器的光隔离器连接。