[实用新型]平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉

说明书

本实用新型公开了一种平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉，包括炉体及门扇组件，在炉体的炉腔内安装有加热器和鼓风机，在炉体的炉腔内还安装有玻璃卡架；炉体的炉腔连通有余热回收管和预热补风管，该余热回收管和预热补风管的另一端通向换热室，余热回收管经换热室换热后依次通向冷凝室和滤清室，该滤清室还与排放风机相连通；玻璃卡架包括卡架立框，在卡架立框上安装有主托杆和辅助托杆，主托杆和辅助托杆上固定安装有托承钉。换热室中安装有换热管，余热回收管经换热室的换热管通向冷凝室和滤清室。该烘烤炉不仅能有效利用排放热能，减少炉腔温度波动，而且能大大降低有机挥发物外泄或排空对外都环境造成的污染。

技术领域

本实用新型涉及平板显示器所用的玻璃基板制作设备，尤其涉及一种用于玻璃基板表面涂布光阻剂固化用烘烤炉。

背景技术

平板显示器具有体积小，重量轻、能耗低、图像精确、屏幕反应速度快等特点，被广泛应用于各种通讯设备、互联网、手机电视及电脑等诸多的电子产品上。随着平板显示面板向高清晰度，轻薄化方向发展，这就要求屏幕的像素密度越高，对于玻璃基板来说表面缺陷会要求越来越严格。

现有的玻璃基板烘烤设备主要由烘烤箱体和玻璃卡架组成，结构比较简单，直接影响玻璃基板性能指标的稳定和基板合格率。现有烘烤炉在烘烤过程中玻璃基板表面的光阻剂挥发大量的有机挥发性溶剂会导致炉腔污染附着颗粒物质，并进而造成热风循环不畅而加剧基板污染，并且随着挥发溶剂在炉腔中的积累加重，这种基板污染风险变得越来越大。同时，烘烤炉腔热空气的直接排空，以及炉门的打开关闭都不可避免地带来光阻固化挥发物的外泄，不仅造成烘烤热能的浪费，而且造成对外部环境的污染。

实用新型内容

针对现有技术所存在的上述不足，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉，不仅能有效利用排放热能，减少炉腔温度波动，而且能大大降低有机挥发物外泄或排空对外都环境造成的污染。

为了解决上述技术问题，本实用新型的平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉，包括炉体及门扇组件，在炉体的炉腔内安装有加热器和鼓风机，在炉体的炉腔内还安装有玻璃卡架；所述炉体的炉腔连通有余热回收管和预热补风管，该余热回收管和预热补风管的另一端通向换热室，余热回收管经换热室换热后依次通向冷凝室和滤清室，该滤清室还与排放风机相连通；所述玻璃卡架包括卡架立框，在卡架立框上安装有主托杆和辅助托杆，主托杆和辅助托杆上固定安装有托承钉。

本实用新型的进一步实施方式，所述换热室中安装有换热管，余热回收管经换热室的换热管通向冷凝室和滤清室。所述冷凝室安装有水冷式或空冷式冷凝器，所述滤清室中安装有滤芯。所述余热回收管包括门扇余热回收管和炉腔余热回收管，所述炉腔余热回收管的一端通向炉体的炉腔，炉腔余热回收管的另一端通向换热室中的换热管，门扇余热回收管的一端通向炉体的门楣余热回收管，门扇余热回收管的另一端也通向换热室中的换热管。所述预热补风管经换热室的换热腔室通向空气吸入口。

本实用新型的优选实施方式，所述卡架立框上固定安装有若干层主托杆和辅助托杆，位于相邻层面上的主托杆和辅助托杆相互平行设置。所述托承钉的钉端圆球冠半径R=2mm—4mm。

本实用新型的优选实施方式，所述加热器为电加热器，所述鼓风机和排放风机为离心风机，所述滤清室的滤芯为熔喷滤芯或折叠式微孔滤芯。