[实用新型]一种晶棒自动检测流水线

权利要求书

1.一种晶棒自动检测流水线，其特征在于，包括：

用于所述晶棒流水检测作业的流水线主体，所述流水线主体上设有用于运输所述晶棒的传送带；

所述流水线主体上设有电阻率测量仪、截断机、寿命检测仪、晶向检测仪、开方机和磨倒机，所述电阻率测量仪设置在所述截断机前方的所述传送带的一侧，所述寿命检测仪和所述晶向检测仪依次设置在所述开方机对应的所述传送带的一侧；

碳氧测量系统，所述碳氧测量系统包括机械臂和设置在所述机械臂上的碳氧测量仪，所述机械臂用于夹取和运输晶棒，所述碳氧测量仪用于向所述晶棒射出红外线以进行检测。

2.根据权利要求1所述的晶棒自动检测流水线，其特征在于，所述流水线主体形成为多段，包括第一流水线主体和第二流水线主体，所述碳氧测量系统设置在所述第一流水线主体和所述第二流水线主体之间，所述第一流水线主体与所述碳氧测量系统连接处形成为出料端，所述出料端设置有晶棒定位装置。

3.根据权利要求2所述的晶棒自动检测流水线，其特征在于，所述碳氧测量系统还包括：

检测台，所述检测台连接在所述出料端和所述第二流水线之间；

固定架，所述固定架设置在所述检测台上方，所述固定架上设置有与所述检测台长度方向一致的滑动轨道，所述滑动轨道延伸至所述出料端；

所述机械臂用于与所述滑动轨道滑动连接以夹持所述晶棒，所述机械臂包括至少一个。

4.根据权利要求3所述的晶棒自动检测流水线，其特征在于，所述机械臂上设置有功率可调节的同步电机。

5.根据权利要求3所述的晶棒自动检测流水线，其特征在于，所述机械臂与所述晶棒接触的一端套设有隔热件。

6.根据权利要求1所述的晶棒自动检测流水线，其特征在于，所述传送带为聚四氟乙烯制件。

7.根据权利要求3所述的晶棒自动检测流水线，其特征在于，所述晶棒自动检测流水线还包括：控制器，所述控制器分别与所述碳氧测量系统、所述电阻率测量仪、所述截断机、所述开方机、所述磨倒机、所述寿命检测仪及所述晶向检测仪电连接。

8.根据权利要求7所述的晶棒自动检测流水线，其特征在于，所述机械臂与所述控制器电连接。

9.根据权利要求8所述的晶棒自动检测流水线，其特征在于，所述控制器为PLC控制器。

10.根据权利要求9所述的晶棒自动检测流水线，其特征在于，所述晶棒自动检测流水线还包括：显示装置，所述显示装置与所述控制器连接。