[实用新型]干湿联合冷却塔、模块化冷却系统和单晶硅生产系统

权利要求书

1.一种干湿联合冷却塔，其特征在于，包括：

冷却塔本体，所述冷却塔本体的侧壁设有用于使气流通过的气流流通结构；

设置于所述冷却塔本体的顶部的引风机；

能够与待冷却液体导通的空冷散热器，所述空冷散热器铺设于所述冷却塔本体的外侧，以形成干冷段；

与所述空冷散热器的出水口连通的蒸发冷却盘管，所述蒸发冷却盘管铺设于所述冷却塔本体的内部；

设置于所述冷却塔本体的内部且位于所述蒸发冷却盘管的上方的喷淋装置，所述喷淋装置用于向所述蒸发冷却盘管喷淋冷却液，以形成湿冷段；

设置于所述冷却塔本体的内部且位于所述蒸发冷却盘管的下方的喷淋液回收池；以及

喷淋水泵，所述喷淋水泵的入水口与所述喷淋液回收池连通，所述喷淋水泵的出水口与所述喷淋装置连通。

2.根据权利要求1所述的干湿联合冷却塔，其特征在于，所述干冷段和所述湿冷段自上而下设置。

3.根据权利要求1所述的干湿联合冷却塔，其特征在于，还包括设置于所述干冷段的第一进风百叶窗和设置于所述湿冷段的第二进风百叶窗，所述第一进风百叶窗和所述第二进风百叶窗的开度能够调节。

4.根据权利要求3所述的干湿联合冷却塔，其特征在于，还包括设置于所述蒸发冷却盘管的出水口的温度传感器和与所述温度传感器电连接的中央冷却控制系统，所述引风机、所述喷淋装置、所述第一进风百叶窗和所述第二进风百叶窗均与所述中央冷却控制系统电连接。

5.根据权利要求1所述的干湿联合冷却塔，其特征在于，还包括设置于所述蒸发冷却盘管的上方的收水器。

6.根据权利要求1所述的干湿联合冷却塔，其特征在于，所述空冷散热器为铝翅片型换热管。

7.根据权利要求6所述的干湿联合冷却塔，其特征在于，所述铝翅片型换热管的外壁通过无铬钝化工艺形成防腐保护膜。

8.根据权利要求1所述的干湿联合冷却塔，其特征在于，还包括设置于所述冷却塔本体上的检修平台。

9.一种模块化冷却系统，其特征在于，包括多个如权利要求1至8任意一项所述的干湿联合冷却塔，所述干湿联合冷却塔采用模块化制造。

10.一种单晶硅生产系统，其特征在于，包括单晶炉、缓冲水池、循环泵和如权利要求1至8任意一项所述的干湿联合冷却塔。