[实用新型]一种自动化定制镀膜拍舟器

说明书

本实用新型公开了一种自动化定制镀膜拍舟器，包括托舟运输台，托舟运输台上设有用于使石墨舟移动运输的托舟轨道，托舟运输台靠近托舟轨道的位置设有用于对石墨舟进行拍舟的拍舟板，托舟运输台上设有用于支撑托舟版的支撑顶板，拍舟板上设有用于对拍舟板进行驱动的驱动单元、用于保护石墨舟晃动的托护单元和用于对拍舟器晃动产生碎屑进行掉片检测的拦挡单元，旨在取消人工拍舟的作业方式，安装定制拍舟器，增加掉片检测和收集，自动化主机台与自动拍舟机构联动，实现自动拍舟、系统的全自动化循环功能，有效减少漏拍、拍舟不及时等造成的产能、良率的影响。

技术领域

本实用新型涉及光伏生产设备领域，具体是一种自动化定制镀膜拍舟器。

背景技术

PECVD是太阳能电池片中比较重要的工序，PECVD系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体作用于存储在硅片上的氮化硅。可以根据改变硅烷对氨气的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。

石墨舟就是石墨模具，石墨舟就是石墨坩锅，用来浇铸金条、银锭等，石墨模具本身是一种载体，可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。石墨模具是选用人造石墨经机械加工而成的。

目前石墨舟上、下料均采用人工拍舟作业方式，员工需要来回跑动，费时费力，人工拍舟时力度不好掌控，容易损坏舟叶，拍舟不到位容易造成翘片导致高频；自制拍舟器时间久了，胶带容易脱落掉进舟内，污染片源，不及时发现会导致网版耗量增加，人工拍舟动作幅度过大，影响石墨舟周围环境，影响良率。

本申请旨在取消人工拍舟的作业方式，安装定制拍舟器，增加掉片检测和收集，自动化主机台与自动拍舟机构联动，实现自动拍舟、系统的全自动化循环功能，有效减少漏拍、拍舟不及时等造成的产能、良率的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动化定制镀膜拍舟器，以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种自动化定制镀膜拍舟器，包括托舟运输台，托舟运输台上设有用于使石墨舟移动运输的托舟轨道，托舟运输台靠近托舟轨道的位置设有用于对石墨舟进行拍舟的拍舟板，托舟运输台上设有用于支撑托舟版的支撑顶板，拍舟板上设有用于对拍舟板进行驱动的驱动单元、用于保护石墨舟晃动的托护单元和用于对拍舟器晃动产生碎屑进行掉片检测的拦挡单元。

通过采用上述技术方案：托舟运输台上的托舟轨道能够石墨舟进行运输，拍舟板对硅片和舟叶进行拍舟，支撑顶板能够对拍舟器进行支撑，驱动单元能够拍舟板进行驱动，托护单元能够对拍舟时晃动的石墨舟进行稳固，避免晃动过大导致硅片脱落，拦挡单元能够对拦截拍舟器晃动的碎屑，避免掉入石墨舟内，增加掉片检测和收集，自动化主机台与自动拍舟机构联动，实现自动拍舟、系统的全自动化循环功能。

进一步设置：驱动单元包括驱动板，驱动板上设有用于带动驱动板升降的伸缩杆，支撑顶板上设有若干用于带动伸缩杆伸缩的气缸，气缸嵌设在支撑顶板内部，拍舟板与支撑顶板之间通过复位弹簧连接，驱动板和拍舟板相对的一侧均设有用于减震的防震垫。

通过采用上述技术方案：气缸能够带动伸缩杆进行伸缩，从而带动驱动板进行升降移动，从而带动拍舟板进行震动拍舟，减震垫能够减少驱动板撞击拍舟板产生的震颤。