[实用新型]一种叠阵激光器快轴剩余发散角测试装置

说明书

本申请公开了一种叠阵激光器快轴剩余发散角测试装置，包括光学平台和依次设置于光学平台上的叠阵安装底座、可消除像差的聚焦系统、狭缝和功率计，其中，叠阵安装底座用于安装叠阵激光器，叠阵激光器发出的激光光束可依次通过可消除像差的聚焦系统、狭缝入射至功率计，激光光束经可消除像差的聚焦系统聚焦，狭缝置于激光光束焦点处、用于测量焦点光斑尺寸，功率计则用于测量激光功率。本申请适应性强，测量值准确，误差较小，可有效节省时间成本和人力成本。

技术领域

本申请涉及激光器技术领域，具体涉及一种叠阵激光器快轴剩余发散角测试装置。

背景技术

随着半导体激光技术发展，半导体激光器的应用越来越广泛，且对半导体激光器的功率和光是质量要求更加严格，越来越多大功率、高光束质量、小发散角的激光器被市场需要。叠阵半导体激光器可实现多巴条封装，进而获得较高的激光功率，且目前叠阵半导体激光器的FAC装调技术越来越先进，FAC安装精度也有较大提高，同时对叠阵激光器经过FAC后的剩余发散角的要求也更加严格，因此需要高准确度的方法测试叠阵激光器的剩余发散角。

目前常用的发散角测试方法有刀口法和CCD法，其中刀口法需要反复多次多位置测量激光能量，测量所需的时间长、步骤繁琐，且刀口法由于机械误差、人工测量误差等，无法准确测量经过FAC后的小发散角光束；而 CCD法受制于CCD的收光口径和损伤阈值，无法测量高功率、大光斑的光束，因此对于经过FAC后的叠阵激光器的剩余发散角，难以简单的测出准确的剩余发散角数值。

实用新型内容

针对上述问题，本申请公开了一种叠阵激光器快轴剩余发散角测试装置，以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题。

本申请采用的技术方案如下：一种叠阵激光器快轴剩余发散角测试装置，包括光学平台和依次设置于光学平台上的叠阵安装底座、可消除像差的聚焦系统、狭缝和功率计，其中，叠阵安装底座用于安装叠阵激光器，叠阵激光器发出的激光光束依次通过可消除像差的聚焦系统、狭缝入射至功率计，激光光束经可消除像差的聚焦系统聚焦，狭缝置于激光光束焦点处，用于测量焦点光斑尺寸，功率计则用于测量激光功率。

狭缝测量焦点光斑尺寸的方向为叠阵激光器发出激光光束快轴的方向，优选地，狭缝包括垂直于激光光束快轴方向的上边缘和下边缘，上边缘和下边缘的相对距离能够调节，从而用于测量焦点光斑尺寸。

优选地，本申请还包括游标卡尺，游标卡尺的滑动方向与激光光束快轴的方向平行，狭缝的上边缘和下边缘分别安装于游标卡尺的上下测量端。

优选地，上边缘和/或下边缘能够沿着游标卡尺滑动方向滑动，以调整上边缘和下边缘之间的相对距离。

优选地，本申请还包括高度调节杆和设置于光学平台上的滑轨，游标卡尺安装于高度调节杆上，高度调节杆设置于滑轨上。

优选地，可消除像差的聚焦系统为多片式镜头聚焦组件，多片式镜头聚焦组件由沿着激光光束照射方向排列设置的多面透镜组合而成。

优选地，多片式镜头聚焦组件包括三面透镜，三面透镜沿着激光光束照射的方向依次排列为凸透镜、凹透镜和凸透镜。

优选地，本申请的叠阵安装底座能够调整高度。

优选地，叠阵安装底座为通水底座，冷却水通过叠阵安装底座为叠阵激光器供水。

本申请的优点及有益效果是：激光光束通过可消除像差的聚焦系统聚焦后经过狭缝，可准确测试较小的光束发散角(＜10mrad)，如FAC后的光束的剩余发散角，对于小角度发散角的测量结果可精确至0.1mrad；使用可消除像差的聚焦系统和狭缝组合的方式，和传统刀口法相比不需要不同距离多次测量，只需要将狭缝置于焦点光斑处测量一次焦点尺寸，可节省时间成本和人力成本；狭缝直接安装在游标卡尺测量端，可以测出准确的狭缝数值，省去人工测量的时间，且测量值准确，不受人工测量误差影响；可以承受较高功率和较大光斑尺寸，可测试各种不同高度的叠阵激光器，适应低叠阵与高叠阵，适应性强。