[实用新型]一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构有效
| 申请号： | 202220994049.3 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN217132441U | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 崔雪岩;孙启萌;刘丽娜 | 申请（专利权）人： | 山东伟航敏芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00;G01L19/14 |
| 代理公司： | 淄博圣创知识产权代理事务所(普通合伙) 37377 | 代理人： | 程丽娜 |
| 地址： | 255086 山东省淄博市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 薄膜 压力传感器 敏感 元件 安装 结构 | ||
1.一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，包括基座六方(2)、基座螺纹柱(3)和传感器敏感元件(4)，所述传感器敏感元件(4)固定安装于基座螺纹柱(3)顶部，所述基座螺纹柱(3)顶部设置有与传感器敏感元件(4)配合的限位柱(32)；
所述基座螺纹柱(3)包括螺纹安装段(31)，螺纹安装段(31)底部开设有O型圈槽(33)；所述基座六方(2)固定安装于基座螺纹柱(3)顶部。
2.根据权利要求1所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，所述传感器敏感元件(4)与基座螺纹柱(3)采用激光焊接的方式连接。
3.根据权利要求1所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，所述螺纹安装段(31)底部O型圈槽(33)设置有内外两圈。
4.根据权利要求2所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，所述基座螺纹柱(3)与基座六方(2)采用激光焊接的方式连接。
5.根据权利要求1-4任一所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，还包括传感器壳体(1)，所述传感器壳体(1)固定安装于基座六方(2)顶部。
6.根据权利要求5所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，所述传感器壳体(1)与基座六方(2)采用激光焊接的方式连接。
7.根据权利要求5所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，所述传感器壳体(1)上端设置有螺纹连接段(11)。
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