[实用新型]一种真空灭弧室刷镀装置控制电路及系统

权利要求书

1.一种真空灭弧室刷镀装置控制电路，其特征在于，包括：主电路(1)和控制电路(2)，所述主电路(1)和控制电路(2)均与总电源(3)连接，所述主电路(1)包括高频直流电源(10)和刷镀液电解槽(16)，所述刷镀液电解槽(16)的通断可被高频直流电源(10)调节，所述控制电路(2)包括第一开关电源(20)、旋转电机控制电路和抽液泵电机控制电路，所述旋转电机控制电路和抽液泵电机控制电路均与所述第一开关电源(20)连接，所述旋转电机控制电路包括旋转电机(213)，所述旋转电机(213)的通断与转速可被旋转电机控制电路调节，所述抽液泵电机控制电路包括抽液泵电机(222)，所述抽液泵电机(222)的通断可被抽液泵电机控制电路调节。

2.根据权利要求1所述的一种真空灭弧室刷镀装置控制电路，其特征在于，所述高频直流电源(10)包括稳流/稳压转换开关。

3.根据权利要求2所述的一种真空灭弧室刷镀装置控制电路，其特征在于，所述主电路(1)还包括电解槽控制电路(11)，所述电解槽控制电路(11)包括第二开关电源(12)、第三开关电源(13)、第一调节电位器(14)、第二调节电位器(15)，所述第二开关电源(12)的一端和所述第一调节电位器(14)的一端均与高频直流电源(10)输出端的正极连接，所述第一调节电位器(14)的另一端与第三开关电源(13)和刷镀液电解槽(16)的一端连接，所述第二开关电源(12)的另一端分别与第三开关电源(13)的另一端、第二调节电位器(15)的一端连接，所述第二调节电位器(15)的另一端与刷镀液电解槽(16)的另一端和高频直流电源(10)输出端的负极连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空灭弧室刷镀装置控制电路，其特征在于，所述旋转电机控制电路包括第一继电器(211)、可变电阻(212)和旋转电机(213)，所述第一继电器(211)的一端与第一开关电源(20)输出端的正极连接，所述第一继电器(211)的另一端与可变电阻(212)的一端连接，所述可变电阻(212)的另一端与所述旋转电机(213)的一端连接，所述旋转电机(213)的另一端与所述第一开关电源(20)输出端的负极连接。

5.根据权利要求4所述的一种真空灭弧室刷镀装置控制电路，其特征在于，所述可变电阻(212)为滑动变阻器。

6.根据权利要求1所述的一种真空灭弧室刷镀装置控制电路，其特征在于，所述抽液泵电机控制电路包括第二继电器(221)和抽液泵电机(222)，所述第二继电器(221)一端与所述第一开关电源(20)输出端的正极连接，所述第二继电器(221)的另一端与所述抽液泵电机(222)的一端连接，所述抽液泵电机(222)的另一端与所述第一开关电源输出端的负极连接。

7.一种真空灭弧室刷镀装置控制系统，其特征在于，包括：刷镀液电解槽(16)、旋转电机(213)和抽液泵电机(222)，以及权利要求1-6任一项所述的控制电路。