[实用新型]一种多功能快速退火炉有效
申请号: | 202221008297.2 | 申请日: | 2022-04-28 |
公开(公告)号: | CN217351469U | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 王文寿;康文兵;陈永红;朱炜泉 | 申请(专利权)人: | 苏州热传道集成电路科技有限公司 |
主分类号: | C21D9/00 | 分类号: | C21D9/00;C21D1/26 |
代理公司: | 浙江新篇律师事务所 33371 | 代理人: | 王嘉 |
地址: | 215000 江苏省苏州市昆山开发*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多功能 快速 退火炉 | ||
1.一种多功能快速退火炉,包括炉体(1)和与所述炉体(1)适配的台车机构(2),所述炉体(1)内部设有炉内腔(11)、且所述炉体(1)下侧和至少一侧侧壁设有与所述炉内腔(11)连通的开口,所述台车机构(2)包括若干横向设置的导轨(3)和设于所述导轨(3)上的滑车(4),所述导轨(3)一端由所述炉体(1)侧壁开口延伸至所述炉内腔(11)内,其特征在于:所述滑车(4)上可拆卸设有与所述炉内腔(11)适配的台板(5),所述滑车(4)上设有若干与所述台板(5)下侧抵触配合的液压顶升缸(6),所述炉内腔(11)两侧壁分别对称设有凹陷设置的滑槽(12),所述滑槽(12)水平设置,所述台板(5)两侧分别设有与所述滑槽(12)滑动配合的滑条(51),所述炉内腔(11)包括加热腔(111)和与所述加热腔(111)连通的过渡腔(112),所述过渡腔(112)设于所述炉内腔(11)内靠近所述炉体(1)侧边开口的一侧,所述加热腔(111)内设有若干加热机构,所述过渡腔(112)与所述加热腔(111)之间设有第一门体(7),所述炉体(1)上侧设有与所述炉内腔(11)连通的门体通过槽(13),所述第一门体(7)可滑动设于所述门体通过槽(13)内,所述炉体(1)上设有用于驱动所述第一门体(7)升降的第一炉门控制机构(8),所述过渡腔(112)侧边开口处设有第二门体(9),所述炉体(1)上设有用于驱动所述第二门体(9)升降的第二炉门控制机构(10),所述滑车(4)上设有用于驱动其沿所述导轨(3)滑动的车驱动机构。
2.如权利要求1所述的一种多功能快速退火炉,其特征在于:所述的加热腔(111)、所述过渡腔(112)长度均大于所述台板(5)长度。
3.如权利要求1所述的一种多功能快速退火炉,其特征在于:所述的液压顶升缸(6)上设有凸块(61),所述台板(5)底面设有若干与所述凸块(61)啮合的定位顶槽(52)。
4.如权利要求1所述的一种多功能快速退火炉,其特征在于:所述的炉体(1)上设有若干与所述加热腔(111)连通的废气收集装置,所述废气收集装置包括主烟管(16),所述主烟管(16)上设有若干与所述加热腔(111)连通的副烟管(161),所述主烟管(16)上设有换热器(17)及第一引风机(18)。
5.如权利要求4所述的一种多功能快速退火炉,其特征在于:所述的废气收集装置还包括第二烟管(15),所述第二烟管(15)上设有若干与所述过渡腔(112)连通的第二烟管支管(151)。
6.如权利要求5所述的一种多功能快速退火炉,其特征在于:所述的第二烟管(15)输出端与所述主烟管(16)上靠近所述第一引风机(18)处连通、且所述第二烟管(15)与所述主烟管(16)连通位置设有电控三通阀(20)。
7.如权利要求1所述的一种多功能快速退火炉,其特征在于:所述的第一门体(7)顶部设有与所述门体通过槽(13)配合以在所述第一门体(7)落下时将所述门体通过槽(13)封闭的上封板(71)。
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