[实用新型]一种固体类反应源输送装置

权利要求书

1.一种固体类反应源输送装置，其特征在于：包括第一进气管道、反应源瓶以及加热器，所述第一进气管道与所述反应源瓶的顶部连接，所述加热器设置于所述反应源瓶的外周，所述第一进气管道的尾部设置有第二进气管道，所述第二进气管道与所述第一进气管道连通，所述第二进气管道伸入所述反应源瓶内，所述反应源瓶的顶部设置有出气管道。

2.根据权利要求1所述的一种固体类反应源输送装置，其特征在于：所述加热器上设置有加热槽，所述加热槽内插设有加热棒。

3.根据权利要求1所述的一种固体类反应源输送装置，其特征在于：所述第一进气管道上设置有进气阀门，所述出气管道上设置有出气阀门。

4.根据权利要求1所述的一种固体类反应源输送装置，其特征在于：所述第二进气管道伸入所述反应源瓶的下方。

5.根据权利要求1所述的一种固体类反应源输送装置，其特征在于：所述反应源瓶包括瓶体以及上盖，所述瓶体与所述上盖可拆卸连接，所述加热器主体的顶部设置有凹槽，所述瓶体设置于所述凹槽内，所述第一进气管道与所述上盖连接。

6.根据权利要求5所述的一种固体类反应源输送装置，其特征在于：所述瓶体与所述上盖之间设置有密封圈。

7.根据权利要求1所述的一种固体类反应源输送装置，其特征在于：所述加热器的外周设置有铝壳，所述加热器的底部与所述铝壳的底部连接。

8.根据权利要求7所述的一种固体类反应源输送装置，其特征在于：所述铝壳与所述加热器的外壁之间设置有隔热间隙，所述铝壳的外周设置有硅胶垫。

9.根据权利要求1所述的一种固体类反应源输送装置，其特征在于：所述反应源瓶的内壁上设置有热电偶。

10.根据权利要求1所述的一种固体类反应源输送装置，其特征在于：所述第一进气管道的尾部设置有输入管道，所述输入管道的两端分别与所述第一进气管道以及所述第二进气管道连通，所述输入管道的孔径小于所述第一进气管道。