[实用新型]一种集成电路静电击穿可靠性分析测试结构有效
| 申请号： | 202221030227.7 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN217360192U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 杨婷;王君从;程铁剑;田爱国 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/12;G01R1/04;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947 | 代理人： | 金福坤 |
| 地址： | 050081 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 静电 击穿 可靠性分析 测试 结构 | ||
1.一种集成电路静电击穿可靠性分析测试结构，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上方四周安装有支撑柱(10)，所述支撑柱(10)上方安装有检测座(9)，所述检测座(9)内部左侧安装有固定机构(6)，所述固定机构(6)上方两侧安装有液压杆(8)，所述液压杆(8)上方安装有延伸板(7)，所述检测座(9)左侧开设有多个检测口(2)。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路静电击穿可靠性分析测试结构，其特征在于：所述固定机构(6)包括电机(601)、安装槽(607)和螺杆(603)，所述检测座(9)内部左侧开设有安装槽(607)，所述安装槽(607)内部一端安装有电机(601)，所述电机(601)动力输出端安装有螺杆(603)，所述螺杆(603)外侧连接有螺套(602)，所述螺套(602)外侧安装有连接杆(605)，且所述液压杆(8)安装在所述连接杆(605)上方两侧。
3.根据权利要求2所述的一种集成电路静电击穿可靠性分析测试结构，其特征在于：所述安装槽(607)内部上下两侧开设有限位槽(604)，所述限位槽(604)内部滑动连接有限位块(606)一端，且所述限位块(606)另一端连接在所述连接杆(605)上下两侧。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路静电击穿可靠性分析测试结构，其特征在于：所述延伸板(7)下方内部开设有弹簧槽(12)，所述弹簧槽(12)内部连接有紧固弹簧(11)一端，所述紧固弹簧(11)另一端连接有顶部固定板(5)。
5.根据权利要求2所述的一种集成电路静电击穿可靠性分析测试结构，其特征在于：所述连接杆(605)右侧下方安装有滑块(4)，所述检测座(9)内部右侧开设有滑槽(3)，且所述滑块(4)滑动连接在所述滑槽(3)内部。
6.根据权利要求2所述的一种集成电路静电击穿可靠性分析测试结构，其特征在于：所述电机(601)的电力输入端与外部电源的电力输出端呈电性连接。
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