[实用新型]一种真空环境作业操作机构

说明书

本实用新型公开了一种真空环境作业操作机构，包括执行机构和驱动机构，所述执行机构包括外部滑块、前端盖、端盖密封、活塞杆、活塞套、磁性圆环和磁性活塞，外部滑块为长方体空心结构，内部镶嵌有磁性圆环；活塞套设在外部滑块空心结构内，一端与前端盖连接，另一端与后端盖连接；活塞杆置于活塞套内，一端固定在磁性活塞上、另一端伸入真空环境箱内与作业装置机械连接；驱动机构固定在外部滑块上、可带动外部滑块沿活塞套做往复运动，镶嵌在外部滑块内的磁性圆环带动磁性活塞、进而带动活塞杆往复运动；所述驱动方式为自动驱动或手动驱动。本实用新型避免了真空泄漏，可灵活完成预定动作，提高了寿命和生产效率，结构简单，操作便捷。

技术领域

本实用新型涉及一种真空环境内部作业操作机构，应用于半导体、医疗、太阳能电池等行业，属于真空作业技术领域。

背景技术

在半导体、医疗及太阳能电池等行业实际生产过程中，常常涉及到真空环境内装配操作；目前常见的做法有两种，手套箱式以及普通气缸采用活塞杆部密封伸入真空环境作业。手套箱式作业，手套长度固定不变，且很占用空间，灵活度不足，无法实现装配细小零部件，精度也不足，且生产效率较低；普通气缸采用活塞杆部密封形式，基本实现自动操作，但结构本身就决定势必存在微漏，无法用于高真空场合；且活塞杆往复动作均和密封圈摩擦，造成密封圈磨损，一定时间之后导致真空泄漏，必须进行维修，影响生产效率，增加维修成本。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术存在的缺陷，提供一种真空环境作业操作机构，避免真空泄漏，提高装置使用寿命和生产效率。

为解决这一技术问题，本实用新型提供了一种真空环境作业操作机构，包括执行机构和驱动机构，所述执行机构包括外部滑块、前端盖、端盖密封、活塞杆、活塞套、磁性圆环和磁性活塞，所述外部滑块为长方体空心结构，其内部镶嵌有磁性圆环；所述活塞套设置在外部滑块空心结构内，其一端与前端盖连接，另一端与后端盖连接；所述活塞杆置于活塞套内，一端固定在与磁性圆环配合的磁性活塞上、另一端穿过前端盖伸入真空环境箱内部并与内部的作业装置机械连接；所述驱动机构固定在外部滑块上、可带动外部滑块沿活塞套做往复运动，镶嵌在外部滑块内的磁性圆环带动磁性活塞、进而带动活塞杆往复运动；所述驱动机构的驱动方式为自动驱动或手动驱动。

所述外部滑块上设有自动驱动机构，所述自动驱动机构为活塞套筒结构，其活塞的两端设有连杆，分别固定在前端盖和后端盖上，通过切换活塞筒两端的气源，实现自动驱动机构带动外部滑块沿活塞套做往复运动。

所述外部滑块上设置有手动驱动手柄，推动手动驱动手柄可带动外部滑块沿活塞套做往复运动。

所述外部滑块上设有导向孔，导向杆穿过外部滑块，一端与前端盖连接，另一端固定在后端盖上，外部滑块可沿导向杆滑动。

所述真空环境箱端部设有通孔，通孔周围设有固定孔，前端盖通过固定孔与真空环境箱固定，前端盖与真空环境箱之间设有端盖密封。

有益效果：本实用新型可通过自动或者手动两种驱动方式实现真空环境内部作业，灵活高效完成预定动作；本实用新型避免了因密封圈磨损造成的真空泄漏，提高了装置使用寿命和生产效率，也可提高真空环境作业精度，降低劳动强度，可应用于半导体、医疗、太阳能电池等行业涉及真空作业的领域，具有结构简单，操作便捷的特点。

附图说明

图1为本实用新型自动执行机构示意图；

图2为本实用新型手动执行机构示意图；

图3为本实用新型执行机构纵向剖切示意图；

图4为本实用新型自动执行机构与外部驱动机构示意图；

图5为本实用新型手动执行机构与驱动手柄示意图；

图6为本实用新型自动执行机构真空环境作业示意图；