[实用新型]一种电子管振荡高压离子阱射频装置有效
申请号: | 202221065594.0 | 申请日: | 2022-05-06 |
公开(公告)号: | CN217544178U | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
发明(设计)人: | 童昕;李梓;王晨;彭文翠;李林;华夏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 |
主分类号: | G21K1/087 | 分类号: | G21K1/087 |
代理公司: | 武汉宇晨专利事务所(普通合伙) 42001 | 代理人: | 黄瑞棠 |
地址: | 430071 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子管 振荡 高压 离子 射频 装置 | ||
1.一种电子管振荡高压离子阱射频装置,其特征在于:
包括直流电压源(0)、电子管(1)、振荡电路(2)、升压磁环(3)、射频离子阱(4)和散热风扇(5);
其位置和连接关系是:
电子管(1)、振荡电路(2)、升压磁环(3)和射频离子阱(4)依次连接;
直流电压源(0)分别给电子管(1)和振荡电路(2)供电;
散热风扇(5)设置在电子管(1)附近;
所述的振荡电路(2)包括依次交互的幅值调节模块(21)、滤波模块(22)、选频模块(23)和输出保护模块(24)。
2.按权利要求1所述的电子管振荡高压离子阱射频装置,其特征在于:
所述的幅值调节模块(21)由直流电压源(0)、电子管(1)、第6电阻(R6)、第7电容(C7)和第8电容(C8)构成,其连接关系是:直流电压源(0)正极与第6电阻(R6)串联后接在电子管第二栅极(105)上,第7电容(C7)和第8电容(C8)分别并联在第6电阻(R6)两端。
3.按权利要求1所述的电子管振荡高压离子阱射频装置,其特征在于:
所述的滤波模块(22)由第2电阻(R2)、第3电阻(R3)、第4电阻(R4)、第5电阻(R5)、第2电容(C2)、第3电容(C3)、第4电容(C4)、第5电容(C5);第7电阻(R7)、第8电阻(R8)、第9电阻(R9)、第10电阻(R10)、第9电容(C9)、第10电容(C10)、第11电容(C11)、第12电容(C12)构成,其连接关系是:第2电容(C2)与第2电阻(R2)并联,第3电容(C3)与第3电阻(R3)并联,第4电阻(R4)、第5电阻(R5)、第4电容(C4)、第5电容(C5)并联,三部分串联在一起;第11电容(C11)与第9电阻(R9)并联,第12电容(C12)与第10电阻(R10)并联,第7电阻(R7)、第8电阻(R8)、第9电容(C9)、第10电容(C10)并联,三部分串联在一起。
4.按权利要求1所述的电子管振荡高压离子阱射频装置,其特征在于:
所述的选频模块(23)由第6电容(C6)、第1电感(L1)和第3电感(L3)构成并联谐振电路,其连接关系是:第1电感(L1)与第3电感(L3)串联,再与第6电容(C6)并联。
5.按权利要求1所述的电子管振荡高压离子阱射频装置,其特征在于:
所述的输出保护模块(24)由第1电容(C1)、第13电容(C13)、第2电感(L2)、第1电阻(R1)、第11电阻(R11)构成,其连接关系是:第2电感(L2)串联在直流电压源(0)输出端;第1电容(C1)串联在第1射频电压(RF1)输出端,第1电阻(R1)并联在第1射频电压(RF1)输出端;第13电容(C13)串联在第2射频电压(RF2)输出端,第11电阻(R11)并联在第2射频电压(RF2)输出端。
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