[实用新型]一种适用于基板粉末封装设备的压机有效
申请号: | 202221088951.5 | 申请日: | 2022-05-07 |
公开(公告)号: | CN217158114U | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
发明(设计)人: | 胡火根;黄晔;黄明玖;吴成胜;郑天勤;方唐利;汪祥国;何豪佳 | 申请(专利权)人: | 安徽耐科装备科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/67 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 梁晓婷 |
地址: | 244000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 粉末 封装 设备 | ||
1.一种适用于基板粉末封装设备的压机,其特征在于,所述适用于基板粉末封装设备的压机包括:
机架(3);
驱动机构(4),安装在所述机架(3)上;
丝杆(1),可转动地安装在所述机架(3)上,且连接在所述驱动机构(4)上;
活动台板(5),与所述丝杆(1)螺纹配合;
下模(6),安装在所述活动台板(5)的顶部;
上模(7),安装在所述机架(3)的顶部、且与所述下模(6)正对设置;
传感器(8),安装在所述机架(3)上;
光栅尺(9),安装在所述活动台板(5)上、且与所述传感器(8)对应设置,所述传感器(8)用于监测所述光栅尺(9)、以确定塑封件对应所述光栅尺(9)的位置的厚度。
2.根据权利要求1所述的适用于基板粉末封装设备的压机,其特征在于,所述丝杆(1)以螺母内嵌形式连接在所述活动台板(5)上。
3.根据权利要求1所述的适用于基板粉末封装设备的压机,其特征在于,所述活动台板(5)为长方体结构,所述光栅尺(9)的数量为四个,四个所述光栅尺(9)分别安装在所述活动台板(5)的四个角位置,每个所述光栅尺(9)对应一个所述传感器(8),四个所述传感器(8)分别监测所述塑封件四个角位置的厚度。
4.根据权利要求3所述的适用于基板粉末封装设备的压机,其特征在于,所述丝杆(1)的数量为四个,四个所述丝杆(1)连接在所述活动台板(5)的四个角位置。
5.根据权利要求1所述的适用于基板粉末封装设备的压机,其特征在于,所述机架(3)包括:
底座(31);
连接座(32),连接在所述底座(31)的顶部,所述连接座(32)的顶部设置有轴承座(2),所述丝杆(1)支撑在所述轴承座(2)上;
侧板(33),连接在所述连接座(32)的顶部;
顶板(34),连接在所述侧板(33)的顶部,所述上模(7)连接在所述顶板(34)的底面。
6.根据权利要求5所述的适用于基板粉末封装设备的压机,其特征在于,所述驱动机构(4)包括:
电机(41),安装在所述底座(31)上;
减速机(42),安装在所述连接座(32)上、且与所述电机(41)的输出轴连接;
联轴器(43),安装在所述连接座(32)上、且与所述减速机(42)连接,所述丝杆(1)连接在所述联轴器(43)上。
7.根据权利要求5所述的适用于基板粉末封装设备的压机,其特征在于,所述适用于基板粉末封装设备的压机还包括:
滑轨固定座(10),安装在所述机架(3)上;
直线导轨(11),安装在所述滑轨固定座(10)上;
滑块(12),安装在所述活动台板(5)上,且与所述直线导轨(11)滑动配合。
8.根据权利要求7所述的适用于基板粉末封装设备的压机,其特征在于,每个所述侧板(33)的相对两侧各安装一个所述滑轨固定座(10)。
9.根据权利要求7所述的适用于基板粉末封装设备的压机,其特征在于,每个所述滑轨固定座(10)上安装一个所述传感器(8)。
10.根据权利要求6所述的适用于基板粉末封装设备的压机,其特征在于,所述适用于基板粉末封装设备的压机还包括:
控制器,与所述电机(41)电连接,所述控制器用于单独控制各个所述电机(41)的运转。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造