[实用新型]一种用于精密仪器的防微震基台

说明书

本实用新型公开了一种用于精密仪器的防微震基台，涉及精密设备技术领域，包括底座，所述底座顶部设置有精密仪器本体，所述底座顶部位于中间的位置开设有凹槽，且凹槽底部位于中间的位置固定连接有气压杆，所述凹槽底部固定连接有多个第二弹簧，多个所述第二弹簧环绕在气压杆外部，多个所述第二弹簧高度与气压杆一致，多个所述第二弹簧和气压杆顶部固定连接有同一个托板，所述托板顶部与精密仪器本体之间通过螺栓连接。本实用新型在精密仪器本体工作时，地表产生的微震传递给底座，在底座上被第二弹簧的弹性和气压杆的伸缩性吸收，使的地表产生的竖直方向上的震动被完全吸收，使的精密仪器本体不受地表微震的影响，能够继续正常的作业。

技术领域

本实用新型涉及精密设备技术领域，尤其涉及一种用于精密仪器的防微震基台。

背景技术

基座作为精密仪器的支撑基础和安装平台，通过设有钢铁配件与精密仪器固定连接，其稳固性和尺寸精度直接影响仪器的工作精度，对投入生产后的产品质量、生产安全都有很大的影响，特别是在半导体和光电等对所用仪器的精密度要求极高行业中。

现有技术中对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的基座包括底座和精密仪器本体，精密仪器本体固定安装在底座顶部。

但是，现有的精密仪器的基台在实际使用中，无法对精密仪器本体起到很好的防微震效果，导致精密仪器本体在工作过程中由于微震导致精密仪器本体无法正常工作，因此，亟需设计一种用于精密仪器的防微震基台来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于精密仪器的防微震基台。其优点在于在精密仪器本体工作时，地表产生的微震传递给底座，在底座上被第二弹簧的弹性和气压杆的伸缩性吸收，使的地表产生的竖直方向上的震动被完全吸收，使的精密仪器本体不受地表微震的影响，能够继续正常的作业。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于精密仪器的防微震基台，包括底座，所述底座顶部设置有精密仪器本体，所述底座顶部位于中间的位置开设有凹槽，且凹槽底部位于中间的位置固定连接有气压杆，所述凹槽底部固定连接有多个第二弹簧，多个所述第二弹簧环绕在气压杆外部，多个所述第二弹簧高度与气压杆一致，多个所述第二弹簧和气压杆顶部固定连接有同一个托板，所述托板顶部与精密仪器本体之间通过螺栓连接。

通过以上技术方案：在精密仪器本体工作时，地表产生的微震传递给底座，在底座上被第二弹簧的弹性和气压杆的伸缩性吸收，使的地表产生的竖直方向上的震动被完全吸收，使的精密仪器本体不受地表微震的影响，能够继续正常的作业。

本实用新型进一步设置为，所述托板两侧均固定连接有侧板，所述底座顶部两侧均开设有侧槽。

通过以上技术方案：能够将精密仪器本体收纳板连接，便于后续收纳板对精密仪器本体缓解水平方向上的微震。

本实用新型进一步设置为，两个所述侧槽两侧内壁均固定连接有多个第一弹簧，且第一弹簧位于同一侧槽内部的相对一端固定连接有收纳板。

通过以上技术方案：能够利用第一弹簧的弹性使得水平方向的微震被缓冲进而被吸收，确保精密仪器本体不会受到水平方向上的微震。

本实用新型进一步设置为，两个所述侧板底部均固定连接有插入板，且插入板设置为曲折形状。

通过以上技术方案：使精密仪器本体与收纳板连接，便于后续对精密仪器本体的减震工作进行。

本实用新型进一步设置为，两个所述收纳板顶部开设有插入槽，且插入槽大小与插入板相适配。

通过以上技术方案：能够使插入板和收纳板的接触面积更大，两者更贴合，提高后续减震的效果。

本实用新型进一步设置为，所述底座底部外壁固定连接有底板，且底板为橡胶材质。