[实用新型]包覆式加热器及单晶炉有效
申请号: | 202221115761.8 | 申请日: | 2022-05-10 |
公开(公告)号: | CN217556347U | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | 夏新中;潘明翠;孟庆超;张莉沫;张任远 | 申请(专利权)人: | 英利能源发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 | 代理人: | 王诗琪 |
地址: | 071051 河北省保定*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包覆式 加热器 单晶炉 | ||
1.一种包覆式加热器,其特征在于,包括:加热器本体(1),所述加热器本体(1)具有围设于坩埚外侧的加热直筒及包覆所述坩埚弧形底部的弧形加热底,所述加热直筒的下边沿与所述弧形加热底的上边沿无缝衔接。
2.如权利要求1所述的包覆式加热器,其特征在于,所述加热器本体(1)包括多个加热单体(11),所述加热单体(11)具有平行于坩埚母线的直线段及延伸至坩埚底部下方的弧形线段,多个所述加热单体(11)沿所述坩埚外周均匀分布,随形包覆于所述坩埚的外侧;其中,所述直线段所在部分构成加热直筒,所述弧形线段所在部分构成所述弧形加热底。
3.如权利要求2所述的包覆式加热器,其特征在于,所述加热单体(11)包括两个随形所述坩埚母线的主加热柱(112)及连接两所述主加热柱(112)的连接加热柱(111),两个所述主加热柱(112)之间的周向距离自与所述直线段衔接的部位向下宽度逐渐递减。
4.如权利要求3所述的包覆式加热器,其特征在于,所述主加热柱(112)与所述连接加热柱(111)为一体结构,且所述连接加热柱(111)连接于所述主加热柱(112)的上端。
5.如权利要求3所述的包覆式加热器,其特征在于,两所述主加热柱(112)的下端连接在一起。
6.如权利要求2所述的包覆式加热器,其特征在于,所述加热单体(11)的弧形线段自与所述直线段衔接的部位向下宽度逐渐递减。
7.如权利要求2所述的包覆式加热器,其特征在于,多个所述加热单体(11)串联或并联连接。
8.如权利要求1所述的包覆式加热器,其特征在于,所述加热器本体(1)的上端边沿高于所述坩埚的上端边沿。
9.如权利要求1所述的包覆式加热器,其特征在于,所述加热器本体(1)的底部弧度大于所述坩埚的底部弧度。
10.一种单晶炉,其特征在于,包括如权利要求1-9任一项所述的包覆式加热器。
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