[实用新型]微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片

权利要求书

1.一种微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片，其特征在于，包括：两块平面反射镜、一根或多根中间制备有数量不等的中空微泡的石英微管、两根方形石英管；其中，所述两块平面反射镜上、下平行放置，所述两根方形石英管高度相同，平行设置于两块平面反射镜左右两边边缘处；两块平面反射镜分别与两根方形石英管的上下表面粘合固定，并保证两块反射镜保持平行；所述微管的中空石英微泡设置于两块平面反射镜之间、两根方形石英管中间部位，其上、下面分别与两块平面反射镜保持平行，微管两端与平面反射镜之间粘合固定，形成微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片；

所述平面反射镜以石英片为基底，表面分别镀有特定反射率的金属薄膜或多层高低折射率周期性交叉排列的介质薄膜。

2.根据权利要求1所述的微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片，所述平面反射镜的反射波段从近紫外光到中红外光。

3.根据权利要求1所述的微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片，其特征在于，所述方形石英管的高度为100-1000μm。

4. 根据权利要求1所述的微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片，其特征在于，所述石英微泡的直径不超过100-1000μm，壁厚不超过5-15 μm。

5.根据权利要求1所述的微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片，其特征在于，所述石英微管上制备的中空微泡，其形状为椭圆状，数量为3-5个。

6. 根据权利要求1所述的微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片，其特征在于，所述平面反射镜单侧表面镀有的金属膜或介质膜，其中反射率的范围为80% - 100%。