[实用新型]一种效率较高的气体充装装置

说明书

本实用新型涉及一种效率较高的气体充装装置，包括充装机架、充装钢瓶架、充装工作台、钢瓶支撑单元和充装单元，充装机架上设置有充装工作台，充装工作台上设置有充装单元，充装机架内设置有充装钢瓶架，充装钢瓶架上设置有钢瓶支撑单元，充装单元位于钢瓶支撑单元的上方位置。本实用新型一种效率较高的气体充装装置，通过钢瓶支撑单元和充装单元的结构设置，自动化程度较高，工作效率较高；通过若干个钢瓶支撑单元的结构设置，可以批量对多个钢瓶进行充装操作，操作简单，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及气体充装相关技术领域，尤其涉及一种效率较高的气体充装装置。

背景技术

随着集成电路等行业的高速发展，在集成电路及半导体成品制作工艺过程中对使用气体纯度的要求越来越高，杂质要求小于1ppb。然而现有技术中的气瓶充装操作一般是通过人工充装的方式进行的，工作效率较低。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种效率较高的气体充装装置，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种效率较高的气体充装装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种效率较高的气体充装装置，包括充装机架、充装钢瓶架、充装工作台、钢瓶支撑单元和充装单元，充装机架上设置有充装工作台，充装工作台上设置有充装单元，充装机架内设置有充装钢瓶架，充装钢瓶架上设置有钢瓶支撑单元，充装单元位于钢瓶支撑单元的上方位置；充装单元包括Y轴驱动模组、X轴驱动模组、Z轴驱动模组和充气头，Y轴驱动模组安装在充装工作台上，Y轴驱动模组驱动上方的X轴驱动模组沿着Y轴方向移动设置，X轴驱动模组驱动Z轴驱动模组沿着X轴方向移动设置，Z轴驱动模组驱动充气头沿着Z轴方向移动设置，钢瓶支撑单元包括两个钢瓶支撑架和卡座，钢瓶支撑架安装在充装钢瓶架上，卡座安装在沿着X轴方向两侧的钢瓶支撑架的中间位置，沿着X轴正方向一侧的钢瓶支撑架上沿着X轴方向设置有夹持气缸，夹持气缸驱动端通过驱动夹持杆与内侧的弧形结构的夹持卡板沿着X轴负方向驱动连接设置，沿着X轴负方向一侧的钢瓶支撑架上设置有支撑块，支撑块的内侧设置有支撑夹持杆，支撑夹持杆的内侧设置有弧形结构的夹持卡板。

作为本实用新型的进一步改进，驱动夹持杆上设置有弹簧。

作为本实用新型的进一步改进，支撑夹持杆为弹簧柱。

作为本实用新型的进一步改进，夹持卡板的内侧安装有橡胶垫。

作为本实用新型的进一步改进，Y轴驱动模组、X轴驱动模组和Z轴驱动模组均为直线电机。

作为本实用新型的进一步改进，充装机架内沿着Y轴方向均匀的设置有若干个充装钢瓶架。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型一种效率较高的气体充装装置，通过钢瓶支撑单元和充装单元的结构设置，自动化程度较高，工作效率较高；通过若干个钢瓶支撑单元的结构设置，可以批量对多个钢瓶进行充装操作，操作简单，使用方便。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型一种效率较高的气体充装装置的结构示意图；

图2是图1中充装单元的结构示意图；