[实用新型]一种旋转透射靶微焦点X射线源

权利要求书

1.一种旋转透射靶微焦点X射线源，其特征在于，包括腔体，在所述腔体内安装有电子束系统、旋转阳极靶系统和冷却系统，所述电子束系统与旋转阳极靶系统中的阳极靶转轴同侧排布设置，所述旋转阳极靶系统中的电机通过锥齿轮传动装置驱动阳极靶旋转，所述电子束系统发射的电子束垂直轰击旋转的阳极靶的金属靶材，所述冷却系统用于冷却所述阳极靶；

所述电子束系统包括陶瓷底座和通路件，在所述陶瓷底座的后端连通安装有高压管头，在所述陶瓷底座的前端同轴依次安装有阴极、第一阳极、第二阳极；在所述通路件后端依次安装有第一聚焦透镜和第二聚焦透镜、前端安装有第三聚焦透镜，各聚焦透镜同轴设置，所述通路件内设有与所述阴极同轴的电子束通道；

所述阳极靶包括导热基底，在所述导热基底上设置有金属靶材微结构。

2.根据权利要求1所述的旋转透射靶微焦点X射线源，其特征在于，所述通路件包括第一通路件，在所述第一通路件的前端安装有第二通路件，在所述第一通路件上套设有所述第一聚焦透镜和所述第二聚焦透镜，在所述第二通路件的前端套设有所述第三聚焦透镜；

所述通路件内设有第一电子束通道，在所述第二通路件内设有第二电子束通道，各电子束通道同轴连通设置。

3.根据权利要求1所述的旋转透射靶微焦点X射线源，其特征在于，所述旋转阳极靶系统包括在所述腔体内安装的锥齿轮传动装置，电机驱动主动锥齿轮转动，从动锥齿轮带动阳极靶旋转。

4.根据权利要求1所述的旋转透射靶微焦点X射线源，其特征在于，所述腔体为一体式结构。

5.根据权利要求1所述的旋转透射靶微焦点X射线源，其特征在于；所述腔体由至少两个腔体本体可拆卸连接组成，在所述腔体本体上连通安装有真空系统。

6.根据权利要求1所述的旋转透射靶微焦点X射线源，其特征在于，所述X射线源还包括控制系统。

7.根据权利要求1所述的旋转透射靶微焦点X射线源，其特征在于，所述冷却系统包括在所述腔体内安装的冷却腔体，所述冷却腔体内设有冷却介质，冷却循环水机连通连接所述冷却腔体且循环所述冷却介质。