[实用新型]一种多路IGBT动态测试夹具

说明书

本实用新型涉及一种多路IGBT动态测试夹具。本实用新型所述的一种多路IGBT动态测试夹具，包括：底板，底板上设置有测试信号输入端、高压链接板和探针座，其中测试信号输入端包括电源接口和门极信号接口；探针座用于插入待测试的多路IGBT模块；高压链接板上设有输入接口、输出接口、电容连接端口以及连接线路，输入端口与所述电源接口连接，输出接口与探针座的探针末端连接，电容连接端口与贴附于高压链接板上的电容连接，连接线路用于连接输入接口、电容连接端口和输出接口。高压链接板实现，探针座与其他电子器件的桥接。本实用新型所述的一种多路IGBT动态测试夹具，具有能够降低杂散电感，提高测量精度和测试可靠性的优点。

技术领域

本实用新型涉及工业自动化技术领域，特别是涉及一种功率器件参数测试装置领域。

背景技术

功率半导体器件在设计、制造和生产的过程中，需要对它的性能做测试。由于IGBT是一个开关器件，所以它有静态测试和动态测试。而动态测试需要测试IGBT管的开关特性。对于多路IGBT模块而言，一个模块内封装了多个IGBT管，其动态测试的需要经过复杂门级驱动和负载的切换。

现在的IGBT测试一般是使用夹具来将IGBT的针脚固定在一个引脚上然后进行静态或者动态测试。这种方式会引入较大的杂散电感，杂散电感会影响测量的精准性和可靠性。所以需要设计一种多路IGBT动态测试夹具，能够降低杂散电感，提高测量精度。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的在于，提供一种多路IGBT动态测试夹具，其能够降低测试过程中的杂散电感，具有提高测量精度和测试可靠性的优点。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种多路IGBT动态测试夹具，包括底板，所述底板上设置有测试信号输入端、高压链接板和探针座，其中所述测试信号输入端包括电源接口和门极信号接口；所述探针座用于插入待测试的多路IGBT模块的针脚；

所述高压链接板上设有输入接口、输出接口、电容连接端口以及连接线路，所述输入端口与所述电源接口连接，所述输出接口与所述探针座的探针末端连接，所述电容连接端口与贴附于所述高压链接板上的电容连接，所述连接线路用于连接所述输入接口、所述电容连接端口和所述输出接口。

本实用新型所述的一种多路IGBT动态测试夹具，设置在一个测试平台上，所述探针座朝上设置。IGBT模块的针脚通过所述探针座的通孔与内部的探针结合，通过一个气缸组件将IGBT模块压紧。测试前将所有的线路连接；然后调控开关，完成不同分路的IGBT管的测试，完成测试后，取出多路IGBT测试模块。通过所述高压链接板完成所述电源接口与所述电容，所述电容与所述探针末端的连接，降低了测试电路的线路长度，从而降低了杂散电感，所以本实用新型所述的一种多路IGBT动态测试夹具，具有能够提高测试的精准性和保证信号无失真的优点。

进一步地，还包括电感接口、门极驱动开关和测试信号输出端；

所述测试信号输出端包括电极信号输出端和电流输出端；

所述电源接口设置在靠近所述电容的底板的短边，所述门极信号接口设置在靠近所述探针座的底板的短边，所述电感设置在所述底板的长边靠近电容的一侧，所述门极驱动开关设置在靠近所述探针座的底板的短边；所述电极信号输出端和所述电流输出端设置在靠近所述探针座的底板的长边。

进一步地，所述高压链接板上的连接线路是通过在铜板或者覆铜PCB上蚀刻或者刀刻形成的。

进一步地，所述夹具中与所述高压链接板连接部分所使用的连接线为10*1mm的铜扁线。

进一步地，所述高压链接板上还设有滤波电容。滤波电容用来滤除高频信号，提高测试准确性和响应速度。

进一步地，所述滤波电容为高压滤波电容。

进一步地，所述滤波电容设有多个。