[实用新型]一种液态气体供应加热控制装置

说明书

本实用新型公开了一种液态气体供应加热控制装置，旨在提供一种能维持所供应气体的压力稳定性的液态气体供应加热控制装置，它包括气体供应站和至少一个加热控制系统，加热控制系统包括加热控制站和供气瓶，供气瓶上设有气体管路，供气瓶通过气体管路与气体供应站相连接，气体管路内设有温度传感器一，温度传感器一与加热控制站电连接，温度传感器一与气体管路可拆卸连接，供气瓶的底部设有加热装置，加热装置与供气瓶可拆卸连接，加热装置与加热控制站电连接。本实用新型的有益效果是：达到了能维持所供应气体的压力稳定性的目的；具有多种防护系统，能提供更完善的安全性；能有效控制双供气瓶同步供应。

技术领域

本实用新型涉及加热控制装置相关技术领域，尤其是指一种液态气体供应加热控制装置。

背景技术

在半导体制程领域中，例如晶圆、面板、发光二极管或者太阳能光电产品，往往需要使用一些气体，例如氮、氧、氦以及氩等，来参与制程反应。 对于以液态储存之气体，例如氦气，一般的方式是购买储存于供氧瓶（gas cylinder）的液态气体作为供氧源，将供气瓶接上预设的气体输送管路，并对供气瓶进行加热，以使液态气体受热气化，经气体输送管路先输送气体供应站端进行使用。

中国专利授权公告号为CN107543031B，授权公告日为2021年11月05日，公开了一种液化气体供给系统的加热控制系统和方法，包含：液态气体气罐放置在平台重量秤上，平台重量秤读取储存在气罐里的液态气体的重量，加热器放置在气罐底部与气罐外壁直接接触，根据需要加热气罐，可编程逻辑控制器应用蒸发气体温度，加热器产生的温度，环境温度和液态气体重量来计算加热器用于加热气罐所需电能，加热器具有多个温度设定点，依据预定的液态气体重量范围的设置设定，加热器在每个温度设定点恒温加热气罐，由此形成阶梯式温度控制模式。

同时，现有技术中，既有的加热系统，如第1图所示，是采于供气瓶体10外周围设置一加热结构12，并搭配设于供气瓶体10外的温度感测器14的方式，来对供气瓶体10的供气状态进行监控。但这样的方式并无法得知供气瓶体10内气体的真正温度，无法准确预知供气瓶体10内压力状态。 此外，当气体供应系统16所需气体用量增加时，加入反应过慢易造成气体压力降低。当气体供应系统16所需的气体用量减少或停止时，持续受到加热中的供气瓶体10会因为内部压力过高，而导致危险。

实用新型内容

本实用新型是为了克服现有技术中因无法预知供气瓶内的气体压力状态导致无法维持所供应气体的压力稳定性的不足，提供了一种能维持所供应气体的压力稳定性的液态气体供应加热控制装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种液态气体供应加热控制装置，它包括气体供应站和至少一个加热控制系统，所述加热控制系统包括加热控制器和供气瓶，所述供气瓶上设有气体管路，所述供气瓶通过气体管路与气体供应站相连接，所述气体管路内设有温度传感器一，所述温度传感器一与加热控制器电连接，所述温度传感器一与气体管路可拆卸连接，所述供气瓶的底部设有加热装置，所述加热装置与供气瓶可拆卸连接，所述加热装置与加热控制器电连接，所述气体管路的一端与供气瓶可拆卸连接，所述气体管路的另一端与气体供应站可拆卸连接，所述温度传感器一位于气体管路与供气瓶可拆卸连接的一端内。