[实用新型]一种柔性半导体生产用冷却装置

权利要求书

1.一种柔性半导体生产用冷却装置，其特征在于：包括箱体(1)和冷却机构(8)；

箱体(1)：其底壁面均匀设置有空心柱(2)，空心柱(2)内部的滑孔内均滑动连接有滑柱(3)，滑柱(3)的上端均与平板(5)的底端固定连接，空心柱(2)的外表面均套设有弹簧(4)，弹簧(4)的下端均与箱体(1)的底壁面固定连接，弹簧(4)的上端均与平板(5)的底端固定连接；

冷却机构(8)：其设置于箱体(1)的内部，冷却机构(8)与箱体(1)的左端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种柔性半导体生产用冷却装置，其特征在于：还包括控制开关组(9)，所述控制开关组(9)设置于箱体(1)的左侧，控制开关组(9)的输入端电连接外部电源。

3.根据权利要求2所述的一种柔性半导体生产用冷却装置，其特征在于：还包括电机(6)，所述电机(6)设置于箱体(1)的右壁面，电机(6)的输出轴左侧通过延长轴固定连接有凸轮(7)，凸轮(7)远离电机(6)输出轴中心的一侧与平板(5)的底端滑动连接，电机(6)的输入端电连接控制开关组(9)的输出端。

4.根据权利要求2所述的一种柔性半导体生产用冷却装置，其特征在于：所述冷却机构(8)包括风机(81)、S型水管支架(82)、S型水管(83)、水泵二(87)和水箱(88)，所述风机(81)分别设置于箱体(1)后侧的安装孔内，箱体(1)的内部后侧设有S型水管支架(82)，S型水管支架(82)的前端设有S型水管(83)，箱体(1)的左端设有水箱(88)，水箱(88)的内部设有水泵二(87)，水泵二(87)的出水端与S型水管(83)的入水端连通，S型水管(83)的出水端位于水箱(88)的内部，S型水管(83)与风机(81)的前后位置对应，风机(81)和水泵二(87)的输入端均电连接控制开关组(9)的输出端。

5.根据权利要求4所述的一种柔性半导体生产用冷却装置，其特征在于：所述冷却机构(8)还包括喷淋管(84)、圆孔(85)和水泵一(86)，所述喷淋管(84)设置于箱体(1)的内部上侧，喷淋管(84)位于平板(5)的上方，喷淋管(84)的外弧面均匀开设有圆孔(85)，水箱(88)的内部设有水泵一(86)，水泵一(86)的出水端与喷淋管(84)的进水端连接，水泵一(86)的输入端电连接控制开关组(9)的输出端。

6.根据权利要求4所述的一种柔性半导体生产用冷却装置，其特征在于：所述风机(81)的进风端均设有滤网(11)。

7.根据权利要求2所述的一种柔性半导体生产用冷却装置，其特征在于：所述平板(5)的上端均与设置有振动电机(10)，振动电机(10)的输入端均电连接控制开关组(9)的输出端。