[实用新型]一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置

说明书

本实用新型公开了一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，包括加工室，设在加工室内部的多区域静电卡盘，端点检测组件、红外线温度监测装置和PC端，端点检测组件设置在加工室顶部中央，且与加工室内部连通，红外线温度监测装置安装在端点检测组件上，监测下方位于多区域静电卡盘上的晶圆。本实用新型结构简单精巧，通过设置红外线温度监测装置获取晶圆表面温度变化数据，并传输至PC端进行温度矫正，提高了矫正效率，避免了数据录入失误。

技术领域

本实用新型涉及蚀刻工艺温度监测矫正技术领域，特别涉及一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置。

背景技术

在进行蚀刻工序的同时，由于晶圆整体表面温度在各个区域发生局部的温差，导致CD数据发生偏离。

加工时，在硬件方面采用多区域静电卡盘放置加工的晶圆，但在获取的过程中，仍需人工进行温度的获取和输入，并不能自动获取加工晶圆表面的温度分布及变化数据，需要手动计算温度值并进行输入，进而将得到的温度变化数据输入到终端中，通过终端进行计算实现温度矫正，整个过程较为麻烦，且通过人工将温度数据一个个抄录进行输入，易出现错误。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，通过在加工工艺室安装摄像监测设备，对加工晶圆的表面温度进行监控，实时获取加工晶圆表面温度数据，并传输至PC端，当发生CD分布异常的情况时，在PC端对晶圆表面的温度和CD数据进行比较，实现自动计算并矫正多区域静电卡盘的温度值，同时温度图数据的获取和矫正计算相互独立，可设置多个终端接收数据，并将接收的数据导入，进行矫正再传输到云端中，或将导入的数据传输到云端进行矫正，进一步提高准确性。

本实用新型采用的一个技术方案是：提供了一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，包括加工室，设在加工室内部的多区域静电卡盘，端点检测组件、红外线温度监测装置和PC端；所述红外线温度监测装置安装在所述端点检测组件上，监测下方位于所述多区域静电卡盘上的晶圆。

进一步的，所述端点检测组件设置在所述加工室顶部中央，且与所述加工室内部连通。

红外线温度监测装置设在端点检测组件上，从加工的晶圆上方进行温度图数据的采集，基于红外线进行温度数据的采集时，采集点在待采集部分的中央，使得获得的温度分布更加准确，能更好的捕捉晶圆表面的温度变化。

进一步的，所述端点检测组件和所述红外线温度监测装置，分别通过对应的线路与设在所述加工室外部的PC端数据连接。

通过线路连接实现端点检测组件和红外线温度监测装置与PC端之间的数据传输，保证数据传输速度，同时避免无线数据传输对加工室内的检测造成影响。

进一步的，所述PC端与所述红外线温度监测装置之间还设有转换器。

转换器用于将在可视光线、红外线、OES波长等，在加工室中发生的所有波长转换成使用者想要的波长的装置。

进一步的，所述PC端还通过无线网络连接云端服务器。

PC端远程连接云端服务器，其它终端可通过访问云端服务器获取矫正后的数据，也可通过云端服务器直接接收PC端的温度数据，进行温度矫正再反馈至PC端。

进一步的，所述PC端设有多个，通过对应的线路分别与所述红外线温度监测装置和所述端点检测组件连接。

设置多个PC端接收同一红外线温度监测装置传输的数据，进行数据的获取和矫正时的数据录入，通过多个PC端录入的数据进行比较，及时剔除异常数据，保证数据处理的准确性。

本实用新型的有益效果是：