[实用新型]一种溅射沉积钼铜复合靶材爆炸焊接结构

说明书

本实用新型公开了一种溅射沉积钼铜复合靶材爆炸焊接结构，包括钢槽、放置在钢槽内的钼板和平行设置在钼板正上方的铜板，在铜板的上方设有用于放置炸药的药框，在药框中部设有起爆雷管，在铜板和钼板之间设有支撑柱，在钢槽的侧壁上分别设有用于螺接螺栓的固定孔，螺栓将钼板顶紧固定。本实用新型通过将钼板可拆卸固定在钢槽内，避免了二者在爆炸焊接过程中因钼板背面受拉应力影响而出现碎裂的情况，保证产品的合格率，同时二者结合强度高、不易脱落。

技术领域

本实用新型涉及溅射沉积钼铜复合靶材制作技术领域，具体涉及一种溅射沉积钼铜复合靶材爆炸焊接结构。

背景技术

溅射气相沉积镀膜是利用离子源，在高真空或高纯度惰性气体保护环境下，荷能粒子轰击固体板材表面的原子使其离开固体表面并沉积在基底薄膜。被轰击的固体板材称为溅射靶材，简称靶材。常见的溅射靶材为金属或非金属单质靶材、合金靶材。对于高纯金属靶材，其背面一般与背板通过焊接的方式组合在一起，背板起到固定溅射靶材、导电、导热的作用。对于两者热膨胀系数、熔点差异较大的异种金属，如钼铜复合靶材的制作，由于钼板和钼合金板的伸长率低，常规的爆炸焊接方法，钼板和钼合金板作为基板，在爆炸焊接过程中，由于基板受复板冲击，极易产生碎裂现象，成品率极低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种溅射沉积钼铜复合靶材爆炸焊接结构，有效减少基板冲击受力，提高了钼铜复合靶材成品率高。

为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种溅射沉积钼铜复合靶材爆炸焊接结构，包括钢槽、放置在所述钢槽内的钼板和平行设置在所述钼板正上方的铜板，在所述铜板的上方设有用于放置炸药的药框，在所述药框中部设有起爆雷管，在所述铜板和钼板之间设有支撑柱，在所述钢槽的侧壁上分别设有用于螺接螺栓的固定孔，所述螺栓将钼板顶紧固定。

针对上述技术方案，钼板为基板，铜板为复板，将钼板通过螺栓紧固在钢槽内，在爆炸焊接过程中，钼板受到铜板的高速冲击，有效防止钼板发生变形而在背面产生拉应力造成其碎裂的情况，提高成品的合格率。

优选的，在所述钢槽的底部均布开设有多个孔洞。在爆炸焊接时，孔洞便于钼板底部空气排出，避免气体压缩高温造成钼板表面氧化；另外在爆炸焊接后，便于钼铜复合靶材的取出。

优选的，相邻所述支撑柱之间相距300-400mm。可确保对铜板的支撑强度，避免铜板出现下凹的情况，有效保证铜板和钼板之间的平行度。

优选的，所述钼板的厚度不小于所述钢槽的凹槽深度。保证铜板和钼板的有效焊接。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过将钼板可拆卸固定在钢槽内，避免了二者在爆炸焊接过程中因钼板背面受拉应力影响而出现碎裂的情况，保证产品的合格率，同时二者结合强度高、不易脱落。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为钼板安装示意图；

图3为铜板安装示意图。

图中：1.钢槽、2.钼板、3.螺栓、4.铜板、5.支撑柱、6.药框、7.炸药、8.起爆雷管、9.孔洞。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步描述。