[实用新型]用于晶体生长炉的加热器组件及晶体生长炉

权利要求书

1.一种用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述晶体生长炉包括炉体和坩埚，所述坩埚设在所述炉体内，所述加热器组件设在所述炉体内，且包括：

多个固定加热器，所述固定加热器适于围绕所述坩埚设置；

多个活动加热器，多个所述活动加热器沿所述固定加热器的径向依次设置，且多个所述活动加热器和多个所述固定加热器沿所述固定加热器的径向交替设置，每个所述活动加热器可沿所述固定加热器的轴向相对于所述固定加热器在第一高度位置和第二高度位置之间上下移动。

2.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，还包括：

多个第一驱动机构，每个所述第一驱动机构连接在一个所述活动加热器的下端，以使多个所述活动加热器沿所述固定加热器的轴向分别独立移动。

3.根据权利要求2所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，还包括：

耐热传动件，所述耐热传动件连接在所述第一驱动机构与对应所述活动加热器之间。

4.根据权利要求3所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，在所述固定加热器的轴向上，所述固定加热器的长度大于所述活动加热器的长度，所述耐热传动件的长度大于等于所述固定加热器与所述活动加热器的长度差的最大值。

5.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，在所述第一高度位置，所述活动加热器的上端与所述固定加热器的上端齐平，在所述第二高度位置，所述活动加热器的下端与所述固定加热器的下端齐平。

6.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述活动加热器具有多个高度位置，多个所述高度位置包括所述第一高度位置、所述第二高度位置和第三高度位置，所述第三高度位置位于所述第一高度位置和所述第二高度位置之间，在所述固定加热器的纵截面上，多个所述高度位置的正投影不重叠。

7.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述活动加热器包括多个加热段和多个连接段，多个所述加热段沿所述固定加热器的周向间隔设置，相邻两个所述加热段通过所述连接段可拆卸相连。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，至少一个所述活动加热器可沿所述固定加热器的周向相对于所述固定加热器转动。

9.根据权利要求8所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，还包括：

多个第二驱动机构，每个所述第二驱动机构连接在一个所述活动加热器的下端，以使多个所述活动加热器沿所述固定加热器的周向分别独立转动。

10.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述加热器组件具有第一工作模式和第二工作模式，

在所述第一工作模式下，至少一个所述活动加热器与其余所述活动加热器的高度不同；

在所述第二工作模式下，多个所述活动加热器的高度相同。

11.根据权利要求10所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述活动加热器为三个或三个以上，每个所述活动加热器具有多个高度位置，在所述固定加热器的纵截面上，多个所述高度位置的正投影不重叠，

在所述第一工作模式下，至少一个所述活动加热器与其余所述活动加热器处于不同的高度位置。

12.根据权利要求11所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述第一工作模式具有第一工作状态和第二工作状态，

在所述第一工作状态下，多个所述活动加热器中的至少两个所述活动加热器处于同一所述高度位置；

在所述第二工作状态下，多个所述活动加热器分别处于不同的所述高度位置。