[实用新型]一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置

权利要求书

1.一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，包括与刻蚀机连接的干泵(1)，洗涤塔(2)，连接干泵(1)和洗涤塔(2)的抽气尾管(3)；其特征在于：所述抽气尾管(3)的一端连接设置有清洗进水管(4)，另一端连接设置有清洗出水管(5)；还设置有清洗水槽(6)，所述清洗进水管(4)和清洗出水管(5)的另一端连接至清洗水槽(6)，所述清洗进水管(4)上设置有循环水泵(7)，清洗进水管(4)上设置有进水控制阀(8)，清洗出水管(5)上设置有出水控制阀(9)。

2.如权利要求1所述的刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，其特征在于：所述清洗水槽(6)内还设置有加热棒(10)。

3.如权利要求1所述的刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，其特征在于：所述清洗水槽(6)的底部设置有排水管(11)，排水管(11)上设置有排水阀门(12)。

4.如权利要求1所述的刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，其特征在于：所述抽气尾管(3)位于清洗进水管(4)的一端还连接设置有烘干气体管路(13)。

5.如权利要求4所述的刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，其特征在于：所述进水控制阀(8)为设置在抽气尾管(3)一端的四通阀，进水控制阀(8)的四个端口分别与干泵(1)、抽气尾管(3)、清洗进水管(4)和烘干气体管路(13)连接；所述出水控制阀(9)为设置在抽气尾管(3)端部的三通阀，三通阀的三个端口分别与洗涤塔(2)、抽气尾管(3)和清洗出水管(5)连接。