[实用新型]相机调节机构及加工设备有效
申请号: | 202221264503.6 | 申请日: | 2022-05-24 |
公开(公告)号: | CN217540204U | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
发明(设计)人: | 刘成;林少戊;胡心悦;聂昆深;余俊华;尹建刚;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | F16M11/04 | 分类号: | F16M11/04;F16M11/08;F16M11/10;F16M11/24 |
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地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 相机 调节 机构 加工 设备 | ||
本申请公开了一种相机调节机构及加工设备。相机调节机构包括:第一安装件,其上设有沿第一方向延伸的第一条形孔,相机调节机构通过第一条形孔与外部设备连接;第二安装件,其一端设有沿第二方向延伸的第二条形孔,通过第二条形孔与第一安装件连接;另一端设有第一弧形孔,第一弧形孔的圆心所在轴线与第三方向平行;第一、第二及第三方向两两垂直;第三安装件,通过第一弧形孔与第二安装件连接,第三安装件上设有第二弧形孔,第二弧形孔的圆心所在轴线位于第一方向与第二方向形成的平面内;驱动机构,通过第二弧形孔与第三安装件连接,并驱动相机模组沿第三方向移动。本申请能沿互相垂直的三个方向移动、能绕Z向旋转且能绕水平轴旋转相机模组。
技术领域
本申请涉及工件拍摄技术领域,尤其涉及一种相机调节机构及加工设备。
背景技术
工件的生产过程中,工件的加工和定位一般都需要借助工业相机。例如LED(LightEmitting Diode,发光二极管)晶圆的加工。随着LED行业中生产的晶粒尺寸的不断减小,对于晶圆加工设备的加工精度要求越来越高。传统设备在加工微型晶粒时,由于相机安装时存在误差,安装精度不够,以及工件加工的误差,导致晶粒图像不够清晰,无法精确定位晶粒的位置,也无法实时纠偏。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本申请提供一种能将相机模组沿X、Y及Z三个方向移动调节位置,将相机模组绕Z向旋转调节角度,并且能将相机模组绕水平轴旋转调节角度的相机调节机构及加工设备。
为达此目的,本申请采用以下技术方案:
一种相机调节机构,包括:
第一安装件,其上设有沿第一方向延伸的第一条形孔,所述相机调节机构通过所述第一条形孔与外部设备连接;
第二安装件,其一端设有沿第二方向延伸的第二条形孔,另一端设有第一弧形孔;所述第二安装件通过所述第二条形孔与所述第一安装件连接,所述第一弧形孔的圆心所在轴线与第三方向平行;所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向两两垂直;
第三安装件,通过所述第一弧形孔与所述第二安装件连接,所述第三安装件上设有第二弧形孔,所述第二弧形孔的圆心所在的轴线位于所述第一方向与所述第二方向形成的平面内;
驱动机构,通过所述第二弧形孔与所述第三安装件连接;
相机模组,与所述驱动机构连接,所述驱动机构能驱动所述相机模组沿第三方向移动。
作为上述相机调节机构的可选方案,所述相机调节机构还包括:
转接件,设于所述第一安装件上;
推动螺钉,设于所述转接件上,所述推动螺钉沿第二方向设置且与所述第二安装件螺纹连接,以通过转动所述推动螺钉推动所述第二安装件沿所述第二方向移动。
作为上述相机调节机构的可选方案,所述第二安装件上设置有第一转动孔,所述第一转动孔位于所述第一弧形孔的圆心位置;所述第一转动孔中设置第一转动销,所述第一转动销连接所述第二安装件及所述第三安装件,以使所述第三安装件绕所述第一转动销转动。
作为上述相机调节机构的可选方案,所述相机调节机构还包括:
第一角度调节块,设于所述第二安装件上与所述第三安装件对应的一端;
第一角度调节螺钉,设于所述第一角度调节块上且与所述第一角度调节块螺纹连接,所述第一角度调节螺钉的末端与所述第三安装件抵接,以通过转动所述第一角度调节螺钉推动所述第三安装件绕所述第一转动销转动。
作为上述相机调节机构的可选方案,所述第三安装件上设置有第二转动孔,所述第二转动孔位于所述第二弧形孔的圆心位置;所述第二转动孔中设置第二转动销,所述第二转动销连接所述第三安装件及所述驱动机构,以使所述驱动机构绕所述第二转动销转动。
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