[实用新型]干燥装置有效
申请号: | 202221274564.0 | 申请日: | 2022-05-24 |
公开(公告)号: | CN217504292U | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 王敏 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | F26B25/00 | 分类号: | F26B25/00;F26B21/00;H01L51/56;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨瑞 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 干燥 装置 | ||
本实用新型公开了一种干燥装置。干燥装置包括承载组件以及冷却组件;承载组件包括面板放置区,承载组件还包括承载台以及设置于承载台上并位于面板放置区内的支撑件;冷却组件包括设置于支撑件一侧的冷却件,冷却件包括与面板放置区对应设置的控温区,控温区包括第一控温区以及设置于第一控温区周侧的第二控温区;其中,当干燥装置处于工作状态时,冷却件在第一控温区内的温度大于冷却件在第二控温区内的温度。本实用新型可以提高面板的成膜均一性。
技术领域
本实用新型涉及显示技术领域,尤其涉及一种干燥装置。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)因其优异的性能,现成为新兴热门的平板显示装置。目前为实现OLED全彩化主要采用喷墨打印技术。在喷墨打印技术中,为了使打印出来的液态材料更好的成型,需要在像素电极周围制备像素bank,再在像素bank区内注入OLED功能层墨水材料,然后通过真空冷却干燥使得墨水材料中的溶剂挥发,并干燥成膜。
但是,在OLED面板进行真空冷却干燥成膜过程中,请结合图1以及图2,干燥设备包括平台1和平台1上方的冷却板2,将OLED面板3放置于平台1上,并在溶剂挥发过程中,在OLED面板3的两端进行抽气,冷却板2提供冷却温度,以实现墨水材料的真空冷却干燥并成膜,但是,由于抽气位置在OLED面板3的周侧,将导致OLED面板3的边缘区域的饱和蒸气压大于中心区域的饱和蒸气压,进而使得边缘区域的溶剂挥发速率大于中心区域的溶剂挥发速率,使得 OLED面板3上的膜层在边缘区域的膜厚和中心区域的膜厚不均一,容易形成“咖啡环”效应,产生显示不均的现象。
实用新型内容
本实用新型实施例提供一种干燥装置,能够使得面板在进行干燥过程中,对应第一控温区和第二控温区的溶剂挥发速率趋于一致,提高面板的成膜均一性。
本实用新型实施例提供一种干燥装置,其包括:
承载组件,包括面板放置区,所述承载组件还包括承载台以及设置于所述承载台上并位于所述面板放置区内的支撑件,所述支撑件用于支撑面板;
冷却组件,包括设置于所述支撑件一侧的冷却件,所述冷却件包括与所述面板放置区对应设置的控温区,所述控温区包括第一控温区以及设置于所述第一控温区周侧的第二控温区;
其中,当所述干燥装置处于工作状态时,所述冷却件在所述第一控温区内的温度大于所述冷却件在所述第二控温区内的温度。
在本实用新型的一种实施例中,所述冷却件包括设置于所述第一控温区内的第一冷却件以及设置于所述第二控温区内的第二冷却件,且所述冷却组件还包括设置于所述第一冷却件内的第一冷却介质以及设置于所述第二冷却件内的第二冷却介质。
在本实用新型的一种实施例中,所述第一冷却件的材料与所述第二冷却件的材料相同,当所述干燥装置处于工作状态时,所述第一冷却介质的温度大于所述第二冷却介质的温度。
在本实用新型的一种实施例中,所述第一冷却件的材料的比热容大于所述第二冷却件的材料的比热容,当所述干燥装置处于工作状态时,所述第一冷却介质的温度大于或等于所述第二冷却介质的温度。
在本实用新型的一种实施例中,所述干燥装置还包括抽气组件,所述抽气组件设置于所述冷却组件与所述承载组件之间,且位于所述冷却组件与所述承载组件的周侧,其中,所述第一冷却件到所述抽气组件的最小距离大于所述第二冷却件到所述抽气组件的最小距离。
在本实用新型的一种实施例中,所述第二控温区包括靠近所述抽气组件的第一子区以及邻接于所述第一子区的第二子区,当所述干燥装置处于工作状态时,所述第二冷却件在所述第一子区的温度小于所述第二冷却件在所述第二子区的温度。
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