[实用新型]一种门钮、内导体组件、微波模式转换器及MPCVD设备

说明书

本实用新型涉及微波等离子体技术领域，具体涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的门钮及采用该门钮的内导体组件，所述门钮设置有安装孔1，所述安装孔1的圆周上设置有可弹性开合的条形开口2，所述条形开口2沿安装孔1的轴向延伸，提供了一种结构简单、便于加工制作、可有效防止打火现象发生、延长设备使用寿命的门钮。

技术领域

本实用新型涉及微波等离子体技术领域，具体而言，涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的门钮。

背景技术

微波等离子体化学气相沉积法，是当今制备高质量金刚石膜的先进方法，该方法需要用到微波等离子体化学气相沉积设备（简称MPCVD），MPCVD是将微波发生器产生的微波经波导传输系统导入反应腔，并通入甲烷与氢气的混合气体，在微波的激励下，反应腔内产生辉光放电，使反应气体的分子离化、产生等离子体，在样品台上沉积从而得到金刚石膜。

微波模式转换器，是MPCVD中波导传输系统的重要组件，而内导体组件，则为微波模式转换器的核心部分。

现有技术的内导体组件不便加工，打火现象时有发生，严重影响了微波的传输，降低了设备的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的，在于克服现有技术的不足、提供一种结构简单、便于加工制作、可有效防止打火现象发生、延长设备使用寿命的门钮。

本实用新型的另一目的，在于提供一种内导体组件，其采用了上述门钮。

本实用新型的又一目的，在于提供一种微波模式转换器，其采用了上述门钮，和/或上述内导体组件。

本实用新型的又一目的，在于提供一种MPCVD设备，其采用了上述门钮，和/或上述内导体组件，和/或上述微波模式转换器。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种门钮，所述门钮设置有安装孔，所述安装孔的圆周上设置有可弹性开合的条形开口，所述条形开口沿安装孔的轴向延伸。

进一步的，所述门钮还设置有与安装孔同轴的过孔，所述过孔的直径大于所述安装孔的直径。

进一步的，所述条形开口沿安装孔的圆周方向均布设置。

一种内导体组件，包括内导体，还包括所述门钮，所述门钮通过安装孔套设在内导体上，所述条形开口能够实现所述门钮与内导体之间无间隙的电性连接。

优选的，所述安装孔的直径小于所述内导体的直径。

一种微波模式转换器，所述微波模式转换器包括所述门钮。

一种微波模式转换器，所述微波模式转换器包括所述内导体组件。

一种MPCVD设备，所述MPCVD设备包括所述门钮。

一种MPCVD设备，所述MPCVD设备包括所述内导体组件。

一种MPCVD设备，所述MPCVD设备包括所述微波模式转换器。

本实用新型具有以下优点：

1、结构简单，便于加工制作；

2、可弹性开合的条形开口，可有效消除门钮与内导体之间的安装间隙、从而防止打火现象的发生。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍。应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1 为本实用新型门钮的立体示意图；