[实用新型]一种激光精密加工设备

权利要求书

1.一种激光精密加工设备，其特征在于，包括：

脉冲激光发射器，用于发射强度可编程的激光脉冲串；

光学系统，设置于所述脉冲激光发射器的光束输出端，用于根据预设的成像比例对激光脉冲光束进行聚焦，形成具有预期加工效果的聚焦光斑；

振镜，设置于所述光学系统的光束输出端，用于调整所述聚焦光斑的扫描位置。

2.根据权利要求1所述的激光精密加工设备，其特征在于：还包括光束变换装置，设置于所述脉冲激光发射器的光束输出端，用于接收所述脉冲激光发射器发射的激光脉冲串并进行空间光强分布变换。

3.根据权利要求2所述的激光精密加工设备，其特征在于：所述脉冲激光发射器的光束输出端设置有一个或多个所述光束变换装置；其中，所述光束变换装置包括衍射光学器件、微透镜阵列和小孔光阑。

4.根据权利要求1所述的激光精密加工设备，其特征在于：还包括移动平台，设置于所述振镜的光束输出端，用于放置待加工件，并通过聚焦光斑对所述待加工件进行加工。

5.根据权利要求4所述的激光精密加工设备，其特征在于：还包括场镜，设置于所述振镜与所述移动平台之间，用于辅助聚焦形成聚焦光斑。

6.根据权利要求2所述的激光精密加工设备，其特征在于：还包括扩束器，设置于所述脉冲激光发射器与所述光束变换装置之间，用于扩大所述激光脉冲串的光束直径。

7.根据权利要求4所述的激光精密加工设备，其特征在于：还包括反射镜片，设置于所述脉冲激光发射器和所述移动平台之间，用于改变所述激光脉冲串的光路。

8.根据权利要求1所述的激光精密加工设备，其特征在于：还包括光学透镜，设置于所述脉冲激光发射器和所述光学系统之间，用于对所述激光脉冲串的光斑大小进行调整，得到高斯光斑。

9.根据权利要求1所述的激光精密加工设备，其特征在于：所述脉冲激光发射器的波长为200nm～11μm，脉宽100μs。

10.根据权利要求3所述的激光精密加工设备，其特征在于：所述衍射光学器件用于对所述激光脉冲串进行整形处理，使激光脉冲串的光束能量呈平顶分布。