[实用新型]一种线位移传感器校准装置

权利要求书

1.一种线位移传感器校准装置，包括恒温室和温度调节箱，温度调节箱内设置有用于安装待校准的线位移传感器的传感器调整台，其特征在于：温度调节箱设置于所述恒温室内，恒温室内于所述温度调节箱的右侧设置有位移台，位移台上沿左右方向导向移动装配有轴线沿左右方向延伸的位移输出杆，位移输出杆的左端伸入到温度调节箱内并设置有用于与线位移传感器配合使用的输出端头，恒温室内还设置有驱动位移输出杆左右移动的输出杆驱动机构和用于测量位移输出杆移动位移的位移测量机构。

2.根据权利要求1所述的线位移传感器校准装置，其特征在于：位移台包括位移台固定座及沿左右方向导向移动装配于位移台固定座上的位移台移动座，位移输出杆的右端固定于位移台移动座上，输出杆驱动机构与位移台移动座传动相连而实现驱动位移输出杆左右移动。

3.根据权利要求2所述的线位移传感器校准装置，其特征在于：位移测量机构包括激光干涉仪，激光干涉仪包括激光干涉仪主机、入射分光镜和固定于位移台移动座上的反射镜，入射分光镜、激光干涉仪主机位于位移台的右侧。

4.根据权利要求2所述的线位移传感器校准装置，其特征在于：位移台固定于底座上，底座包括底座支撑杆及固定于底座支撑杆上端的底板。

5.根据权利要求4所述的线位移传感器校准装置，其特征在于：底板上均布有多个螺纹孔，底座支撑杆上端设置有用于与对应螺纹孔相连的螺纹段。

6.根据权利要求1所述的线位移传感器校准装置，其特征在于：传感器调整台包括调整台支座和相对调整台支座能够左右、前后、上下和水平面内周向转动调整的传感器安装座。

7.根据权利要求4所述的线位移传感器校准装置，其特征在于：位移输出杆的右端通过输出杆夹具与位移台移动座相连，输出杆夹具包括上侧夹持板和下侧夹持板，上侧夹持板、下侧夹持板上设置有槽口相对的用于夹持位移输出杆的V形夹持槽，V形夹持槽的槽壁与位移输出杆之间设置有隔热材料层。

8.根据权利要求7所述的线位移传感器校准装置，其特征在于：底座上于输出杆夹具的左侧设置有输出杆支撑机构，输出杆支撑机构包括由导热金属制成的输出杆支撑座，输出杆支撑座上端具有开口朝上的用于与位移输出杆接触配合的V形支撑槽。

9.根据权利要求1~8任意一项所述的线位移传感器校准装置，其特征在于：输出端头包括用于分别单独与位移输出杆可拆卸连接的第一端头和第二端头，第一端头包括工作板，工作板具有用于配合激光式线位移传感器和拉杆式线位移传感器使用的与左右方向垂直的工作板面；第二端头包括连接盒，连接盒具有用于容纳拉线式线位移传感器的拉线端的容纳腔，连接盒的左侧盒壁上开设有拉线穿孔。

10.根据权利要求9所述的线位移传感器校准装置，其特征在于：输出端头和位移输出杆由石英玻璃或者微晶陶瓷材料制成。