[实用新型]一种用于硅片托盘表面处理的遮挡装置有效
申请号: | 202221319207.1 | 申请日: | 2022-05-30 |
公开(公告)号: | CN218123429U | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 张清清;高晗;刘小明;龚汉亮;吴明贵 | 申请(专利权)人: | 南通玖方新材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C23C14/04;C23C16/04 |
代理公司: | 佛山市君创知识产权代理事务所(普通合伙) 44675 | 代理人: | 冼柏恩 |
地址: | 226300 江苏省南通市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 硅片 托盘 表面 处理 遮挡 装置 | ||
本实用新型涉及光伏发电领域,具体公开了一种用于硅片托盘表面处理的遮挡装置,所述遮挡装置包括设置在托盘上的挡板以及用于将挡板安装在托盘上的安装机构,其中,所述托盘在每个硅片放置位置处均设置有安装槽;所述安装机构将所述挡板安装在所述安装槽内。通过上述设置,使得本实用新型的遮挡装置可以在托盘进行表面处理时将托盘中的硅片放置位置遮挡起来,以便使得硅片在后续的镀膜过程中获得更好的镀膜效果。
技术领域
本实用新型涉及光伏发电领域,具体涉及一种用于硅片托盘表面处理的遮挡装置。
背景技术
在太阳能硅片的加工生产加工过程中,为了便于硅片的批量加工,一般会采用载物框或石墨舟的方式进行硅片输送,其中,所述载物框包括承载框以及设置在承载框上的托盘,所述托盘上设有多个存放槽,在上料时通过机械手将多张待加工的硅片放置在托盘的存放槽中,加工时则通过载物框的移动带动硅片在各个加工工位之间的转移,从而使得在每个加工工位上均可以实现对硅片的批量加工。
在对硅片进行镀膜的过程中,为了提高硅片在镀透明导电薄膜的质量,托盘表面需要进行表面处理,但是托盘中放置硅片的位置不能做表面处理,为此需要在做表面处理的过程中将硅片放置位置遮挡起来。然而目前并没有一种用于对托盘表面的硅片放置位置进行遮挡的装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种用于硅片托盘表面处理的遮挡装置,所述遮挡装置可以在托盘进行表面处理时将托盘中的硅片放置位置遮挡起来。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案是:
一种用于硅片托盘表面处理的遮挡装置,包括设置在托盘上的挡板以及用于将挡板安装在托盘上的安装机构,其中,所述托盘在每个硅片放置位置处均设置有安装槽;所述安装机构将所述挡板安装在所述安装槽内。
优选的,所述安装槽为多组,对应的,所述挡板和所述安装机构也均为多组,多组挡板和多组安装机构均与多组安装槽一一对应。
优选的,所述挡板上设置有阶梯面,所述阶梯面将所述挡板分为第一挡板部和第二挡板部,其中,所述第一挡板部的长度和宽度均大于所述第二挡板部;所述安装槽上设置有与所述第二挡板部配合的凹槽,所述第二挡板部嵌套在所述凹槽内。
优选的,当将所述挡板安装在所述安装槽后,所述第二挡板部的表面与所述托盘的底面平齐。
优选的,所述安装机构包括多组螺栓锁紧机构,其中,所述挡板上设置有多个安装孔,所述安装孔设置在所述挡板的边缘位置;每组螺栓锁紧机构包括螺栓、螺母以及垫片,其中,所述螺栓依次穿过所述第一挡板部和所述第二挡板部后与所述螺母连接;所述垫片套在所述螺栓上,且位于所述第二挡板部与所述螺母之间,该垫片中有部分部位自所述第二挡板部的表面水平延伸至所述托盘的表面,以此构成用于限制所述挡板移动的限位部。
优选的,所述安装孔为六组,对应的,所述螺栓锁紧机构也为六组。
优选的,还包括设置在所述挡板上的用于遮挡卡点位置的遮挡块,其中,所述遮挡块安装在所述挡板上,该遮挡块上设置有用于对托盘中的卡点位置进行遮挡的遮挡部。
优选的,所述遮挡块通过螺钉固定在所述挡板上。
优选的,所述遮挡块为多组。
本实用新型与现有技术相比具有以下的有益效果:
本实用新型的遮挡装置可以在托盘进行表面处理时将托盘中的硅片放置位置遮挡起来,以便使得硅片在后续的镀膜过程中获得更好的镀膜效果。
附图说明
图1和图2为本实用新型的用于硅片托盘表面处理的遮挡装置的第一个具体实施方式的两个不同视角的立体结构示意图。
图3为图1中A处的局部放大图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的