[实用新型]新型多功能特种气瓶

说明书

新型多功能特种气瓶，包括电源模块、特气瓶本体、加热机构、流量检测仪，还具有控制电路和警示电路、温控电路；所述加热机构包括加热壳、电加热板、温控开关，加热壳外侧是中空结构，电加热板安装在加热壳外侧内，温度开关安装在加热壳外侧；加热壳的两端分别和特气瓶的出气管以及流量检测仪的进气管连接，流量检测仪的出气管和生产区域的用气管之间连接；电源模块、控制电路和警示电路、温控电路安装在元件盒内并电性连接。本新型能自动控制电机热机构的工作方式，实现了智能化控制前提下，还能达到节能目的。当瓶内气体量将要用完时，提示电路能第一时间提示工作人员进行更换，由此给工作人员带来了便利，且尽可能保证了生产顺利进行。

技术领域

本实用新型涉及电子产品生产辅助用品技术领域，特别是一种新型多功能特种气瓶。

背景技术

在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开特种电子气体(简称特气)，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。

特气使用前都储存在钢瓶内，生产时打开阀门进而为生产设备提供相应的特气。在有些生产过程，由于采用的特气(比如SiH4、PH3、B2H6)性质以及用量不同，储存或运输中会将其转为液体或半液态(应用中打开阀门后，特气会由液体转成气体经阀门流出为相关设备供气，但是温度不高时气化程度相对小、那么流量也相对小)，在实际生产时需要对特气瓶的出口端采用电加热方式进行加热，提高其气化的速度和加大流量，保证用气设备较大用气量的需要。虽然现有的技术中实现了电加热方式加热特气，但是受到结构所限还是存在一些具体的技术问题，具体体现如下。其一：当生产区域用气流量发生变化时，比如用气量减少时，需要工作人员人为关闭电加热机构的电源，上述操作模式会给工作人员带来不便，且工作人员忘记关闭电加热机构电源时会造成不必要的电能浪费。其二：不能对内部存储的气体量进行实时监测(一般是人为方式接近气瓶通过观察气压表的读书掌握气体量，上述方式也会给工作人员带来不便)，当生产中气体使用完后，而工作人员没有及时查看到更换新的特气瓶时，会对生产过程带来不利影响。基于上述，提供一种能在生产区域气体用量减少时、及时关闭电加热机构电源达到节能目的，且能实时监测瓶内特气量的特气瓶显得尤为必要。

实用新型内容

为了克服现有的特气瓶由于结构所限，存在如背景所述弊端，本实用新型提供了一种基于特气瓶本体，应用中在相关机构及电路共同作用下，能实时监测生产区域用气量，在用气量减少的第一时间能暂时关闭电加热机构的电源，实现了智能化控制前提下，还能达到节能目的，且在瓶内气体量将要用完时，能第一时间提示工作人员进行更换，由此给工作人员带来了便利，且尽可能保证了生产顺利进行的新型多功能特种气瓶。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

新型多功能特种气瓶，包括电源模块、特气瓶本体、加热机构、流量检测仪，其特征在于还具有控制电路和警示电路、温控电路；所述加热机构包括加热壳、电加热板、温控开关，加热壳外侧是中空结构，电加热板安装在加热壳外侧内，温度开关安装在加热壳外侧外；所述加热壳的两端分别和特气瓶的出气管以及流量检测仪的进气管连接，流量检测仪的出气管和生产区域的用气管之间连接；所述电源模块、控制电路和警示电路、温控电路安装在元件盒内；所述流量检测仪的信号输出端和控制电路及警示电路的信号输入端电性连接；所述温控电路的电源输出端和电加热板的电源输入两端分别电性连接，温控开关的两个接线端电性串联在温控电路的两个信号输入端之间。

进一步地，所述控制电路包括电性连接的电阻、可调电阻、运放集成电路，运放集成电路的正极电源输入端和可调电阻一端连接，可调电阻另一端和电阻一端、运放集成电路的反相输入端连接，运放集成电路的负极电源输入端和电阻另一端连接。