[实用新型]一种离心真空泵串联真空系统

权利要求书

1.一种离心真空泵串联真空系统，其特征在于：包括多级离心真空泵、消声器、电动蝶阀、冷却器(3)、压力变送器(12)、变频控制柜(15)和电机，所述多级离心真空泵包括第一多级离心真空泵(1)和第二多级离心真空泵(2)，所述冷却器(3)设置在第一多级离心真空泵(1)和第二多级离心真空泵(2)之间，所述冷却器(3)通过第一管道(4)与第一多级离心真空泵(1)连接，所述冷却器(3)通过第二管道(5)与第二多级离心真空泵(2)连接，所述消声器包括第一消声器(6)、第二消声器(7)和第三消声器(8)，所述第一消声器(6)设置在第一多级离心真空泵(1)的进气管道上，所述第二消声器(7)设置在第二多级离心真空泵(2)的出气管道上，所述第三消声器(8)设置在第一管道(4)上，所述电动蝶阀包括第一电动蝶阀(9)、第二电动蝶阀(10)和第三电动蝶阀(11)，所述第一电动蝶阀(9)设置在第一消声器(6)和第一多级离心真空泵(1)之间的管道上，所述第二电动蝶阀(10)设置在第二多级离心真空泵(2)的进气管道上，所述第三电动蝶阀(11)设置在第三消声器(8)与第一管道(4)连接的管道上，所述压力变送器(12)分别设置在第一多级离心真空泵(1)的进气管道、第一管道(4)和第二管道(5)上，所述电机包括用于驱动第一多级离心真空泵(1)的第一电机(13)和用于驱动第二多级离心真空泵(2)的第二电机(14)，所述压力变送器(12)、电动蝶阀和电机均与变频控制柜(15)电连接。

2.根据权利要求1所述的一种离心真空泵串联真空系统，其特征在于：所述第一多级离心真空泵(1)的进气管道上、第一管道(4)的进气端、第二管道(5)的出气端和第二多级离心真空泵(2)的出气管道上均设置有波纹补偿器(16)。

3.根据权利要求2所述的一种离心真空泵串联真空系统，其特征在于：所述第二管道(5)上设置有止回阀(17)。

4.根据权利要求1所述的一种离心真空泵串联真空系统，其特征在于：所述第三消声器(8)和第一管道(4)通过三通连接。

5.根据权利要求2所述的一种离心真空泵串联真空系统，其特征在于：所述第一管道(4)上设置有压力表(18)。

6.根据权利要求1所述的一种离心真空泵串联真空系统，其特征在于：所述真空系统还包括底座(19)，所述第一多级离心真空泵(1)和第二多级离心真空泵(2)均设置在底座(19)上。